º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
CVD °øÁ¤ °³¹ß¿¡ ´ëÇÑ ¿Á¤Àº ´ëÇп¡¼ Àç·á°øÇÐÀ» Àü°øÇÏ¸é¼ ´õ¿í ±í¾îÁ³½À´Ï´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ´Ù¾çÇÑ ÈÇÐ ¹°Áú°ú ±×µéÀÌ ¹°ÁúÀÇ ¼ºÁú¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâÀ» ¿¬±¸Çϸç, CVD °øÁ¤ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼ ¾ó¸¶³ª Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´ÂÁö ÀÌÇØÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ƯÈ÷, °íǰÁúÀÇ ¹Ú¸·À» Çü¼ºÇϴµ¥ ÀÖ¾î CVD °øÁ¤ÀÇ ¿ì¼ö¼ºÀ» Á÷Á¢ °æÇèÇϸç, À̸¦ ÅëÇØ Â÷¼¼´ë ±â¼ú ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ½Í´Ù´Â Æ÷ºÎ°¡ »ý°å½À´Ï´Ù. ÇкΠ¿¬±¸½Ç¿¡¼ÀÇ °æÇèÀº Á¦°Ô Å« ÀÚ»êÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀÇ ÀÏ¿øÀ¸·Î Âü¿©ÇÏ¿© CVD °øÁ¤ÀÇ ÃÖÀûȸ¦ À§ÇÑ ½ÇÇèÀ» ¼öÇàÇÏ¿´°í, ´Ù¾çÇÑ º¯¼öµéÀÌ °á°ú¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâÀ» ºÐ¼®Çß½À´Ï´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ¹®Á¦ ÇØ°á ´É·Â°ú ºÐ¼®Àû »ç°í¸¦ ±â¸¦ ¼ö ÀÖ¾úÀ¸¸ç, ÆÀ¿øµé°úÀÇ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ °øµ¿ÀÇ ¸ñÇ¥¸¦ ´Þ¼ºÇÏ´Â ±â»ÝÀ» ´À²¼½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °æÇèÀº CVD °øÁ¤ °³¹ß ºÐ¾ß¿¡¼ ¼º°øÀûÀ¸·Î ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¹ÝÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ƯÈ÷, CVD °øÁ¤ÀÌ Áö¼Ó °¡´ÉÇÑ ±â¼ú ¹ßÀü¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâ¿¡ ´ëÇÑ °ü½ÉÀÌ Å®´Ï´Ù. Çö´ë »çȸ´Â ȯ°æ ¹®Á¦¿Í ¿¡³ÊÁö Àý¾àÀÌ Áß¿äÇÑ À̽´·Î ¶°¿À¸£°í ÀÖ½À´Ï´Ù. CVD ±â¼úÀ» Ȱ¿ëÇÏ¿© °íÈ¿À²ÀÇ Á¦Ç°À» °³¹ßÇϰí, ÀÚ¿øÀ» È¿À²ÀûÀ¸·Î Ȱ¿ëÇÏ´Â ¹æÇ⡦(»ý·«)