º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
CVD(ÈÇÐ ±â»ó ÁõÂø) °øÁ¤±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ±íÀº °ü½É°ú ¿Á¤ÀÌ Àú¸¦ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ Áö¿øÇÏ°Ô ¸¸µé¾ú½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼ CVD ±â¼úÀº Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» Çϸç, ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼ ÇʼöÀûÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº °íµµÈµÈ ÀüÀÚ±â±â¸¦ Á¦ÀÛÇÏ´Â µ¥ ÇÊ¿äÇÑ ÇÙ½É ¿ä¼Ò·Î, ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼ Á¦ ¿ª·®À» ¹ßÈÖÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù. CVD °øÁ¤ÀÌ ´Ù¾çÇÑ ¿øÀÚÀ縦 Ȱ¿ëÇÏ¿© ±ÕÀÏÇÑ ¹Ú¸·À» Çü¼ºÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼ Á¤È®¼º°ú Á¤¹ÐÇÔÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â ¸¸Å, ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯¼º¿¡ ¸Å·áµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ´ëÇб³ ½ÃÀý ¹°¸®¿Í ÈÇÐÀ» ±íÀÌ ÀÖ°Ô ÇнÀÇÏ¸é¼ Àç·áÀÇ ¹°¼ºÀÌ °øÁ¤ÀÇ Ç°Áú¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâÀ» ü°¨ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ƯÈ÷, ³ª³ë¼ÒÀç¿Í °ü·ÃµÈ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÁøÇàÇÏ¸é¼ CVD °øÁ¤ÀÇ ±âÃÊ ¿ø¸®¿Í ½ÇÁ¦ ÀÀ¿ë »ç·Ê¸¦ Á¢ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ÀÌ·ÐÀûÀÎ Áö½Ä»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ½ÇÇèÀ» ÅëÇÑ ¹®Á¦ ÇØ°á ´É·ÂÀ» ±â¸¦ ¼ö ÀÖ¾ú°í, ¿¬±¸ÀÇ °á°ú¸¦ ¹ßÇ¥ÇÏ¸é¼ ¸¹Àº À̵é°ú ¼ÒÅëÇÏ´Â ±âȸµµ °¡Á³½À´Ï´Ù. CVD °øÁ¤ÀÇ ¹ßÀüÀº ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ °æÀï·ÂÀ» °áÁ¤Áþ´Â Áß¿äÇÑ ¿ä¼Ò·Î, Áö¼ÓÀûÀ¸·Î º¯ÈÇÏ´Â ½ÃÀå ¿ä±¸¿¡ ÀûÀÀÇÏ´Â ±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼úÀÌ Á¦°øÇÏ´Â °¡´É¼º°ú ¹ßÀü ¹æÇâÀ» ޱ¸Çϸç, ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿©·¯ ¹æ¡¦(»ý·«)