º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº ÇöÀç ¿ì¸® »ýȰÀÇ ¸ðµç ºÎºÐ¿¡ ±í¼÷ÀÌ ÀÚ¸® Àâ°í ÀÖÀ¸¸ç, ±× Á߿伺Àº ³¯·Î Áõ°¡Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ »ê¾÷Àº ±â¼ú ¹ßÀüÀÇ Á߽ɿ¡ ÀÖÀ¸¸ç, °ü½ÉÀ» µÎ°í ³ë·ÂÇØ¿Â ºÐ¾ßÀÔ´Ï´Ù. DBÇÏÀÌÅØÀº °øÁ¤ ±â¼ú¿¡ ÀÖ¾î ¶Ù¾î³ Àü¹®¼º°ú Çõ½Å·ÂÀ» Áö´Ï°í ÀÖ´Â ±â¾÷À¸·Î, À̰÷¿¡¼ Á¦ ¿ª·®À» ¹ßÈÖÇÏ°í ½Í´Ù´Â ¿¸ÁÀÌ Ä¿Á³½À´Ï´Ù. ƯÈ÷, Photo, Etch Wet, CMP, EPI °øÁ¤ µî ´Ù¾çÇÑ °øÁ¤ ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇØ¸¦ ±íÀÌ ÀÖ°Ô ½×¾Æ¿Ô½À´Ï´Ù. ÇкΠ½ÃÀý¿¡´Â ¼¼¹Ì³ª¿Í ½ÇÇèÀ» ÅëÇØ À̷аú ½Ç½ÀÀ» º´ÇàÇϸç, Æ÷Åä ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿Í ¿¡Äª °úÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ½ÉÃþÀûÀÎ Áö½ÄÀ» ½ÀµæÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ °æÇèÀº Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼ ¿ä±¸µÇ´Â Á¤¹Ð¼º°ú Çõ½Å¼ºÀ» ÀÌÇØÇÏ´Â µ¥ Å« µµ¿òÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ¿¬±¸ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÅëÇØ CMP¿Í EPI °øÁ¤ÀÇ Á߿伺À» ½Ç°¨ÇÏ¿´°í, ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼úµéÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ ¼º´É¿¡ ¾ó¸¶³ª Å« ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´ÂÁö¸¦ Á÷Á¢ÀûÀ¸·Î °æÇèÇß½À´Ï´Ù. DBÇÏÀÌÅØÀÇ °øÁ¤ ±â¼úÆÀÀº ³ôÀº ¼öÁØÀÇ ±â¼ú·Â°ú È¿À²¼ºÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ±Û·Î¹ú °æÀï·ÂÀ» À¯ÁöÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ±× ¼Ó¿¡¼ ¶Ù¾î³ µ¿·áµé°ú Çù·ÂÇÏ¿© ½ÇÁ¦ °øÁ¤ ¿î¿µ¿¡ Âü¿©ÇÔÀ¸·Î½á, ÀÌ·ÐÀû Áö½Ä»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ½Ç¹«ÀûÀÎ °æÇèÀ» ½×°í ½Í½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯¡¦(»ý·«)