º»¹®/³»¿ë
1. Áö¿ø µ¿±â
Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ Utility ¼³ºñ °ü¸® ´ã´çÀÚ Á÷¹«¿¡ Áö¿øÇÏ°Ô µÈ ÀÌÀ¯´Â, ¼³ºñ ¿î¿µ°ú °ü¸®ÀÇ Á߿伺À» ÀÌÇØÇϰí, À̸¦ ÅëÇØ ȸ»çÀÇ »ý»ê¼º Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ½Í±â ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. ±â°è°øÇÐÀ» Àü°øÇÏ¸ç ¼³ºñ ¿î¿µ °ü¸®¿Í ÃÖÀûÈ¿¡ °üÇÑ À̷аú ½Ç½ÀÀ» ÅëÇØ ¼³ºñÀÇ È¿À²ÀûÀÎ ¿î¿ë ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇØ ±íÀÌ ÀÖ´Â Áö½ÄÀ» ½×¾Ò½À´Ï´Ù. ƯÈ÷, CVD °øÁ¤°ú °°Àº °íµµÀÇ ¼³ºñ ½Ã½ºÅÛÀ» ÃÖÀûÈÇÏ°í ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î ¿î¿µÇÏ´Â µ¥ ÇÊ¿äÇÑ ±â¼úÀû ¿ª·®À» Ű¿ü½À´Ï´Ù. Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ÷´Ü ±â¼ú°ú Áö¼Ó °¡´ÉÇÑ »ý»ê ½Ã½ºÅÛÀ» Áß½ÃÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î, ÀúÀÇ ¼³ºñ °ü¸® °æÇè°ú ¹®Á¦ ÇØ°á ´É·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¼³ºñÀÇ ¾ÈÁ¤Àû ¿î¿µÀ» Áö¿øÇϰí, È¿À²ÀûÀÎ »ý»ê °øÁ¤À» ±¸ÃàÇÏ´Â µ¥ ±â¿©ÇϰíÀÚ Áö¿øÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼ÀÇ °æÀï·ÂÀ» ³ôÀÌ´Â µ¥ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» Çϰí ÀÖÀ¸¸ç, Àú´Â ±³´ë ±Ù¹« ȯ°æ¿¡¼ ¼³ºñÀÇ ¾ÈÀü¼º°ú È¿À²¼ºÀ» À¯ÁöÇϸç, ¹®Á¦ ¹ß»ý ½Ã ½Å¼ÓÇÏ°Ô ´ëÀÀÇÏ´Â ´É·ÂÀ» ÅëÇØ ȸ»çÀÇ ¼º°ú¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù.
2. ¼ºÀå °úÁ¤
¾î¸± ÀûºÎÅÍ ±â°è¿Í ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ Å« °ü½ÉÀ» °¡Á³½À´Ï´Ù. ÀÌ °ü½ÉÀº ÀÚ¿¬½º·´°Ô ±â°è°øÇÐ Àü°øÀ¸·Î À̾îÁ³°í, ´ëÇÐ ½ÃÀýºÎÅÍ ´Ù¾çÇÑ ¼³ºñ¡¦(»ý·«)