¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. ÀÚ½ÅÀÇ °Á¡ ÇÑ °¡Áö¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î Èñ¸Á Á÷¹«¿¡¼ ¹ßÈÖµÉ ¼ö ÀÖ´Â ¼º°ú¿¡ ´ëÇØ ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù
2. Áö±Ý±îÁö »ì¾Æ¿À¸é¼ ŸÀÎ ¶Ç´Â °øµ¿Ã¼¸¦ À§ÇØ ³ë·ÂÇÑ °æÇè°ú À̸¦ ÅëÇØ ¹è¿î Á¡À» ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù
3. ¾î·Á¿î ȯ°æÀ̳ª »óȲ¿¡ ºÎµúÇûÀ» ¶§ À̸¦ ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ ³ë·ÂÇÑ °æÇè¿¡ ´ëÇÏ¿© ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù
4. ¸éÁ¢ ¿¹»ó Áú¹® ¹× ´äº¯
º»¹®/³»¿ë
1. ÀÚ½ÅÀÇ °Á¡ ÇÑ °¡Áö¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î Èñ¸Á Á÷¹«¿¡¼ ¹ßÈÖµÉ ¼ö ÀÖ´Â ¼º°ú¿¡ ´ëÇØ ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù
ÀúÀÇ °¡Àå Å« °Á¡Àº ¹®Á¦ÀÇ ¿øÀÎÀ» ³¡±îÁö ÃßÀûÇϰí, ½ÇÇèÀûÀ¸·Î °ËÁõÇÏ´Â Áý¿äÇÑ ºÐ¼®·ÂÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ °Á¡Àº ÇÁ¸®Ä¿¼ °³¹ßÀ̶ó´Â Èñ¸Á Á÷¹«¿¡¼ º¹ÀâÇÑ ÇÕ¼º Á¶°Ç°ú ¹ÝÀÀ ¸ÞÄ¿´ÏÁòÀ» ¸íÈ®È÷ ÀÌÇØÇϰí, ºÒ¼ø¹° »ý¼º ¿øÀÎÀ̳ª ¹Ú¸· Ư¼ºÀÇ ÆíÂ÷¸¦ Á¤È®ÇÏ°Ô ºÐ¼®ÇÏ´Â µ¥ °áÁ¤ÀûÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
´ëÇпø ÀçÇÐ Áß, ±Ý¼Ó À¯±â ÇÁ¸®Ä¿¼ ±â¹ÝÀÇ ALD °øÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÑ ½Å±Ô Àü±¸Ã¼ ÇÕ¼ºÀ» ¼öÇàÇϸé¼, ¹ÝÀÀ ÈÄ »ý¼º¹°ÀÇ ºÐÇØ ¾ÈÁ¤¼ºÀÌ ¿¹Ãø°ú ´Ù¸£°Ô ³ªÅ¸³ ÀûÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ±âÁ¸ ¹®ÇåÀÇ °æ·Î´ë·Î ÁøÇàÇßÀ½¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ¹Ýº¹ ½ÇÇè¿¡¼ ¹Ú¸· µÎ²² ±ÕÀϵµ°¡ Å©°Ô Èçµé·È°í, ÀÌ´Â °øÁ¤ÀÇ ÀçÇö¼º È®º¸¿¡ Å« ¹®Á¦°¡ µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ´ç½Ã ´ëºÎºÐÀÇ ¿¬±¸¿øµéÀº Àü±¸Ã¼ÀÇ ±¸Á¶ ¹®Á¦°¡ ¾Æ´Ñ ÁõÂø Á¶°Ç»óÀÇ ÀϽÃÀû ¿À·ù¶ó°í ÆÇ´ÜÇß½À´Ï´Ù.
ÇÏÁö¸¸ Àú´Â `ºÒ¾ÈÁ¤¼ºÀº °øÁ¤ Á¶°ÇÀÌ ¾Æ´Ñ ¹°Áú ±¸Á¶ ÀÚü¿¡¼ ºñ·ÔµÇ¾úÀ» ¼öµµ ÀÖ´Ù`´Â ÀüÁ¦¸¦ ¼¼¿ì°í, ÇÕ¼º¹°ÀÇ IR, TGA, XPS ½ºÆåÆ®·³ ºÐ¼®À» ÅëÇØ ¹Ýº¹ÀûÀ¸·Î ±¸Á¶¸¦ °ËÅäÇß½À´Ï´Ù. ±× °á°ú ±âÁ¸ ¸®°£µåÀÇ ºñ´ëĪ ±¸Á¶°¡ °øÁ¤ ³» ÈíÂø¡¦(»ý·«)