¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. ÀÚ½ÅÀÇ °Á¡ ÇÑ °¡Áö¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î Èñ¸Á Á÷¹«¿¡¼ ¹ßÈÖµÉ ¼ö ÀÖ´Â ¼º°ú¿¡ ´ëÇØ ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
2. Áö±Ý±îÁö »ì¾Æ¿À¸é¼ ŸÀÎ ¶Ç´Â °øµ¿Ã¼¸¦ À§ÇØ ³ë·ÂÇÑ °æÇè°ú À̸¦ ÅëÇØ ¹è¿î Á¡À» ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
3. ¾î·Á¿î ȯ°æÀ̳ª »óȲ¿¡ ºÎµúÇûÀ» ¶§ À̸¦ ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ ³ë·ÂÇÑ °æÇè¿¡ ´ëÇÏ¿© ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
º»¹®/³»¿ë
1. ÀÚ½ÅÀÇ °Á¡ ÇÑ °¡Áö¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î Èñ¸Á Á÷¹«¿¡¼ ¹ßÈÖµÉ ¼ö ÀÖ´Â ¼º°ú¿¡ ´ëÇØ ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
ÀúÀÇ °¡Àå Å« °Á¡Àº ÈÇÐ ±¸Á¶ ±â¹ÝÀÇ ¿¹Ãø·Â°ú, À̸¦ ½ÇÇè ¼³°è¿¡ ³ì¿©³»´Â ºÐ¼® Áß½ÉÀÇ »ç°í·ÂÀÔ´Ï´Ù. ¹Ú¸·¼ÒÀç, ƯÈ÷ ÇÁ¸®Ä¿¼´Â ´Ü¼øÇÑ ±Ý¼Ó À¯±âÈÇÕ¹°ÀÌ ¾Æ´Ñ, ±âȼº¿Àû ¾ÈÁ¤¼ººÒ¼ø¹° ÃÖ¼Òȶó´Â ¿©·¯ ¿ä±¸ Á¶°ÇÀ» µ¿½Ã¿¡ ¸¸Á·ÇØ¾ß Çϱ⿡ ±¸Á¶Àû ¿¹ÃøÀÌ ¸Å¿ì Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù.
¼®»ç °úÁ¤ Áß ºñÈֹ߼º Àü±¸Ã¼¸¦ MOCVD °øÁ¤¿ëÀ¸·Î °³ÁúÇÏ´Â °úÁ¦¸¦ ¼öÇàÇϸç, ±¸Á¶ º¯È°¡ ¿ºÐÇØ ¿Âµµ¿Í ±âÈ Æ¯¼º¿¡ ¾î¶»°Ô ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´ÂÁö¸¦ ¹Ýº¹ÀûÀ¸·Î ºÐ¼®Çß½À´Ï´Ù. ¾Ëų±â, ÇҷΰÕ, ų·¹ÀÌÆ® ±¸Á¶ µî ´Ù¾çÇÑ ÀÛ¿ë±â µµÀÔÀ» ½ÃµµÇÏ¸é¼ ºÐÀÚ ³» °áÇշ°ú ±âÈ ½Ã ÀÌÅ» °æÇ⼺À» ÇØ¼®Çß°í, À̸¦ ÅëÇØ ±âȿµµ¸¦ 20µµ ³·Ãß°í ÀÜ·ù¹°À» ÁÙÀÌ´Â ¼º°ú¸¦ ³Â½À´Ï´Ù.
ÇØ´ç ¿¬±¸¿¡¼ Á¦°¡ ¸ÃÀº ¿ªÇÒÀº ±¸Á¶ ¼³°è ¹× ÇÕ¼º Á¶°Ç Á¶ÀýÀ̾úÀ¸¸ç, GC-MS, TGA, NMR, XPS µîÀ» Ȱ¿ëÇØ ºÒ¼ø¹° ºÐ¼®°ú ºÐÇØÆÐÅÏ ÃßÀû±îÁö ¼öÇàÇß½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ ÇÕ¼º ÈÄ ÀÜ·ù ºÒ¼ø¹° °ËÃâ°ú Á¦°Å ¸ÞÄ¿´ÏÁòÀ» ½ÇÇèÀûÀ¸·Î ÀÔÁõÇÑ °æÇèÀº ¹Ú¸·¼ÒÀç ¿¬±¸¿¡ ÀÖ¾î ¡®°í¼øµµ È®º¸¡¯¶ó´Â ÇÙ½É Ç°Áú ±âÁØÀ» ¼³¡¦(»ý·«)