¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. Áö¿øÇÏ´Â µ¿±â´Â ¹«¾ùÀ̸ç ÀԻ縦 À§ÇØ ¹«¾ùÀ» ÇÏ¿´´ÂÁö ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ÀÛ¼ºÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
2. º»ÀÎÀÌ »ý°¢ÇÏ´Â °¡Àå Áß¿äÇÑ °¡Ä¡¸¦ ÇÑ °¡Áö ¼±ÅÃÇÏ¿©, ±× °¡Ä¡¸¦ Áö۱â À§ÇØ ²ÙÁØÈ÷ ½ÇÃµÇØ ¿Â ³ë·ÂÀ» ±â¼ú ÇØÁֽʽÿÀ.
3. º»ÀÎÀÇ Á÷¹« ¿ª·®À» ³ªÅ¸³¾ ¼ö ÀÖ´Â »ç·Ê¸¦ ¼±Á¤ÇÏ¿©, ÇØ´ç °æÇèÀ» ÅëÇØ üµæÇÑ ¿ª·®À» °£·«ÇÏ°Ô ¼¼ú ÇØÁֽʽÿÀ.
4. Áö¿øÇϽŠÁ÷¹« ºÐ¾ß¿¡¼ ÀÏÀ» ÇÏ½Ã°Ô µÈ´Ù¸é, ¾î¶² Ä¿¸®¾î¸¦ ¸¸µé¾î ³ª°¥Áö¿¡ ´ëÇÑ °èȹÀ» ¼¼úÇØÁֽðí, À̸¦ ÅëÇØ ¾î¶² ¹æ½ÄÀ¸·Î ȸ»ç ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖÀ»Áö ¼³¸íÇØÁֽʽÿÀ.
5. ´Ù¾çÇÑ °øÁ¤ Á¶°Ç Áß °¡Àå Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÏ´Â ¿ä¼Ò´Â ¹«¾ùÀ̸ç, ±× ÀÌÀ¯´Â
6. PSK¿¡¼ ÀÌ·ç°í ½ÍÀº °øÁ¤°³¹ßÀÚÀÇ ºñÀüÀº
º»¹®/³»¿ë
ÇÇ¿¡½ºÄÉÀÌ(PSK) °øÁ¤°³¹ß ÀÚ±â¼Ò°³¼
¸ñÂ÷
1. Áö¿øÇÏ´Â µ¿±â´Â ¹«¾ùÀ̸ç ÀԻ縦 À§ÇØ ¹«¾ùÀ» ÇÏ¿´´ÂÁö ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ÀÛ¼ºÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
2. º»ÀÎÀÌ »ý°¢ÇÏ´Â °¡Àå Áß¿äÇÑ °¡Ä¡¸¦ ÇÑ °¡Áö ¼±ÅÃÇÏ¿©, ±× °¡Ä¡¸¦ Áö۱â À§ÇØ ²ÙÁØÈ÷ ½ÇÃµÇØ ¿Â ³ë·ÂÀ» ±â¼ú ÇØÁֽʽÿÀ.
3. º»ÀÎÀÇ Á÷¹« ¿ª·®À» ³ªÅ¸³¾ ¼ö ÀÖ´Â »ç·Ê¸¦ ¼±Á¤ÇÏ¿©, ÇØ´ç °æÇèÀ» ÅëÇØ üµæÇÑ ¿ª·®À» °£·«ÇÏ°Ô ¼¼ú ÇØÁֽʽÿÀ.
4. Áö¿øÇϽŠÁ÷¹« ºÐ¾ß¿¡¼ ÀÏÀ» ÇÏ½Ã°Ô µÈ´Ù¸é, ¾î¶² Ä¿¸®¾î¸¦ ¸¸µé¾î ³ª°¥Áö¿¡ ´ëÇÑ °èȹÀ» ¼¼úÇØÁֽðí, À̸¦ ÅëÇØ ¾î¶² ¹æ½ÄÀ¸·Î ȸ»ç ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖÀ»Áö ¼³¸íÇØÁֽʽÿÀ.
1. Áö¿øÇÏ´Â µ¿±â´Â ¹«¾ùÀ̸ç ÀԻ縦 À§ÇØ ¹«¾ùÀ» ÇÏ¿´´ÂÁö ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ÀÛ¼ºÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (700ÀÚ)
PSK´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àåºñ ºÐ¾ß¿¡¼ ÀÚü ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¼¼Á¤ ¹× ½Ä°¢ °øÁ¤ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÏ¸ç ±Û·Î¹ú °æÀï·ÂÀ» Ű¿ö¿Â ±â¾÷ÀÔ´Ï´Ù. ƯÈ÷ Dry Strip°ú LDP(Laser Doping) µî ÇÙ½É °øÁ¤±â¼úÀ» ÀÚü °³¹ßÇÏ¿© °íºÎ°¡°¡Ä¡ Àåºñ ½ÃÀåÀ» ¼±µµÇϰí ÀÖ´Ù´Â Á¡ÀÌ ¸Å¿ì Àλó ±í¾ú½À´Ï´Ù. Àú´Â ´ëÇÐ ½ÃÀý ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤°ú Àç·á°øÇÐÀ» ÁßÁ¡ÀûÀ¸·Î ÇнÀÇÏ¿´À¸¸ç, Á¹¾÷ ÇÁ·ÎÁ§Æ®·Î ALD °ø¡¦(»ý·«)