¿Ã·¹Æ÷Æ® : ´ëÇз¹Æ÷Æ®, Á·º¸, ½ÇÇè°úÁ¦, ½Ç½ÀÀÏÁö, ±â¾÷ºÐ¼®, »ç¾÷°èȹ¼­, Çо÷°èȹ¼­, ÀÚ±â¼Ò°³¼­, ¸éÁ¢, ¹æ¼ÛÅë½Å´ëÇÐ, ½ÃÇè ÀÚ·á½Ç
¿Ã·¹Æ÷Æ® : ´ëÇз¹Æ÷Æ®, Á·º¸, ½ÇÇè°úÁ¦, ½Ç½ÀÀÏÁö, ±â¾÷ºÐ¼®, »ç¾÷°èȹ¼­, Çо÷°èȹ¼­, ÀÚ±â¼Ò°³¼­, ¸éÁ¢, ¹æ¼ÛÅë½Å´ëÇÐ, ½ÃÇè ÀÚ·á½Ç
·Î±×ÀΠ ȸ¿ø°¡ÀÔ

ÆÄÆ®³Ê½º

ÀÚ·áµî·Ï
 

Àå¹Ù±¸´Ï

´Ù½Ã¹Þ±â

ÄÚÀÎÃæÀü

¢¸
  • 2025 µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á °³¹ß Á÷¹« ÀÚ±â¼Ò°³¼­ ÀÚ¼Ò¼­ ¹× ¸éÁ¢Áú¹®   (1 ÆäÀÌÁö)
    1

  • 2025 µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á °³¹ß Á÷¹« ÀÚ±â¼Ò°³¼­ ÀÚ¼Ò¼­ ¹× ¸éÁ¢Áú¹®   (2 ÆäÀÌÁö)
    2

  • 2025 µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á °³¹ß Á÷¹« ÀÚ±â¼Ò°³¼­ ÀÚ¼Ò¼­ ¹× ¸éÁ¢Áú¹®   (3 ÆäÀÌÁö)
    3

  • 2025 µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á °³¹ß Á÷¹« ÀÚ±â¼Ò°³¼­ ÀÚ¼Ò¼­ ¹× ¸éÁ¢Áú¹®   (4 ÆäÀÌÁö)
    4


  • º» ¹®¼­ÀÇ
    ¹Ì¸®º¸±â´Â
    4 Pg ±îÁö¸¸
    °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
¢º
Ŭ¸¯ : Å©°Ôº¸±â
  • 2025 µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á °³¹ß Á÷¹« ÀÚ±â¼Ò°³¼­ ÀÚ¼Ò¼­ ¹× ¸éÁ¢Áú¹®   (1 ÆäÀÌÁö)
    1

  • 2025 µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á °³¹ß Á÷¹« ÀÚ±â¼Ò°³¼­ ÀÚ¼Ò¼­ ¹× ¸éÁ¢Áú¹®   (2 ÆäÀÌÁö)
    2

  • 2025 µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á °³¹ß Á÷¹« ÀÚ±â¼Ò°³¼­ ÀÚ¼Ò¼­ ¹× ¸éÁ¢Áú¹®   (3 ÆäÀÌÁö)
    3

  • 2025 µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á °³¹ß Á÷¹« ÀÚ±â¼Ò°³¼­ ÀÚ¼Ò¼­ ¹× ¸éÁ¢Áú¹®   (4 ÆäÀÌÁö)
    4



  • º» ¹®¼­ÀÇ
    (Å« À̹ÌÁö)
    ¹Ì¸®º¸±â´Â
    4 Page ±îÁö¸¸
    °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
  ´õºíŬ¸¯ : ´Ý±â
X ´Ý±â
Á¿ìÀ̵¿ : µå·¡±×

2025 µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á °³¹ß Á÷¹« ÀÚ±â¼Ò°³¼­ ÀÚ¼Ò¼­ ¹× ¸éÁ¢Áú¹®

ÀÎ ¼â
¹Ù·Î°¡±â
Áñ°Üã±â Űº¸µå¸¦ ´­·¯ÁÖ¼¼¿ä
( Ctrl + D )
¸µÅ©º¹»ç ¸µÅ©ÁÖ¼Ò°¡ º¹»ç µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
¿øÇÏ´Â °÷¿¡ ºÙÇô³Ö±â Çϼ¼¿ä
( Ctrl + V )
¿ÜºÎ°øÀ¯
ÆÄÀÏ  2025 µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á °³¹ß Á÷¹« ÀÚ±â¼Ò~.hwp   [Size : 18 Kbyte ]
ºÐ·®   4 Page
°¡°Ý  5,000 ¿ø


īƮ
´Ù¿î¹Þ±â
īī¿À ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
±¸±Û ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
ÆäÀ̽ººÏ ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
µÚ·Î

¸ñÂ÷/Â÷·Ê

1. ÃÖ±Ù 3³â À̳» µµÀüÀû ¸ñÇ¥¸¦ ¼ö¸³ÇÏ¿© ¼ºÃë°á°ú¸¦ ÀÌ·ï³½ °æÇè¿¡ ´ëÇØ ±â¼úÇØÁֽʽÿÀ

(Áö¿ø Á÷¹«¿Í º»ÀÎ °æÇè°úÀÇ ¿¬°ü¼º¿¡ ´ëÇØ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ÀÛ¼º)

2. Áö¿ø Á÷¹«¿Í °ü·ÃÇÏ¿© ŸÀΰú Â÷º°È­ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â º»Àθ¸ÀÇ °­Á¡À» ÀÛ¼ºÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ (º¸À¯ ¿ª·®, Skill Æ÷ÇÔ)

3. ÃÖ±Ù 5³â À̳» º»ÀÎÀÌ ¼Ò¼ÓµÈ Á¶Á÷ÀÇ ¹ßÀüÀ» À§ÇØ °¡Àå ¸¹Àº ±â¿©¸¦ ÇÑ °æÇè¿¡ ´ëÇØ ÀÛ¼ºÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ

4. ¸éÁ¢ ¿¹»ó Áú¹® ¹× ´äº¯

º»¹®/³»¿ë
1. ÃÖ±Ù 3³â À̳» µµÀüÀû ¸ñÇ¥¸¦ ¼ö¸³ÇÏ¿© ¼ºÃë°á°ú¸¦ ÀÌ·ï³½ °æÇè¿¡ ´ëÇØ ±â¼úÇØÁֽʽÿÀ

Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼­ ¡®ºûÀÇ ¸¶½ºÅ©¡¯ ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇϸç, ȸ·Î ÆÐÅÏ Çü¼ºÀÇ Á¤¹Ðµµ¿Í Á÷°áµÇ´Â ¼ÒÀçÀÔ´Ï´Ù. ±×¸¸Å­ ¼ÒÀçÀÇ °¨±¤¼º, ºÐÇØ Ư¼º, ÇØ»óµµ, ÀÜ·ù¸· ¾ïÁ¦·Â µîÀÌ ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô ¿ä±¸µÇ¸ç, ´Ù¾çÇÑ ¹ÝÀÀ¼ºÀ» °í·ÁÇÑ º¹ÇÕÀûÀÎ ¼³°è°¡ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù. Àú´Â ¼®»ç°úÁ¤ Áß EUV(EUV: Extreme Ultraviolet) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ ¼±±¸Àû °³¹ß ¿¬±¸¿¡ Âü¿©Çϸ鼭 ÀÌ·¯ÇÑ ¼ÒÀç ¼³°èÀÇ º¹ÇÕ¼ºÀ» Á÷Á¢ üµæÇÏ¿´½À´Ï´Ù.

´ç½Ã ¸ñÇ¥´Â ±âÁ¸ ArF Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®º¸´Ù ³ôÀº ÇØ»óµµ¿Í ³·Àº LWR(Line Width Roughness)À» ±¸ÇöÇÏ´Â EUV¿ë °í°¨µµ ´Ü·®Ã¼¸¦ ¼³°èÇϰí, ½ÇÁ¦ °¨±¤ Çʸ§ Ư¼ºÀ¸·Î Æò°¡ÇÏ´Â °ÍÀ̾ú½À´Ï´Ù. ù ½Ãµµ´Â ³³ÀÛÇÑ ±¸Á¶ÀÇ °íÈí¼ö °í¸®°è ´Ü·®Ã¼¸¦ µµÀÔÇÑ °ÍÀ̾úÁö¸¸, ¼ÒÀÚÀÇ Åõ°úÀ²ÀÌ ³·°í ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °á°ú¿¡¼­ °úµµÇÑ crosslinkingÀ¸·Î ÆÐÅÏÀÌ Èå·ÁÁö´Â ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ ÀüÀÚ ¹Ðµµ ºÐÆ÷¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ´Ü·®Ã¼ÀÇ ÇÙ½É Ä¡È¯±â ±¸Á¶¸¦ °³¼±Çß°í, ¿ì¼öÇÑ °¨±¤¼ºÀº À¯ÁöÇ쵂 °úµµÇÑ °æÈ­¹ÝÀÀÀ» ¾ïÁ¦ÇÏ´Â ¹æÇâÀ¸·Î ¹ÝÀÀ Á¶°Ç°ú º¸È£±â Á¶¼ºÀ» Á¶Á¤ÇÏ¿´½À´Ï¡¦(»ý·«)



📝 Regist Info
I D : plzd****
Date : 2025-04-29
FileNo : 27232170

Cart