¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. ÃÖ±Ù 3³â À̳» µµÀüÀû ¸ñÇ¥¸¦ ¼ö¸³ÇÏ¿© ¼ºÃë°á°ú¸¦ ÀÌ·ï³½ °æÇè¿¡ ´ëÇØ ±â¼úÇØÁֽʽÿÀ
(Áö¿ø Á÷¹«¿Í º»ÀÎ °æÇè°úÀÇ ¿¬°ü¼º¿¡ ´ëÇØ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ÀÛ¼º)
2. Áö¿ø Á÷¹«¿Í °ü·ÃÇÏ¿© ŸÀΰú Â÷º°È ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â º»Àθ¸ÀÇ °Á¡À» ÀÛ¼ºÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ (º¸À¯ ¿ª·®, Skill Æ÷ÇÔ)
3. ÃÖ±Ù 5³â À̳» º»ÀÎÀÌ ¼Ò¼ÓµÈ Á¶Á÷ÀÇ ¹ßÀüÀ» À§ÇØ °¡Àå ¸¹Àº ±â¿©¸¦ ÇÑ °æÇè¿¡ ´ëÇØ ÀÛ¼ºÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ
4. ¸éÁ¢ ¿¹»ó Áú¹® ¹× ´äº¯
º»¹®/³»¿ë
1. ÃÖ±Ù 3³â À̳» µµÀüÀû ¸ñÇ¥¸¦ ¼ö¸³ÇÏ¿© ¼ºÃë°á°ú¸¦ ÀÌ·ï³½ °æÇè¿¡ ´ëÇØ ±â¼úÇØÁֽʽÿÀ
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ¡®ºûÀÇ ¸¶½ºÅ©¡¯ ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇϸç, ȸ·Î ÆÐÅÏ Çü¼ºÀÇ Á¤¹Ðµµ¿Í Á÷°áµÇ´Â ¼ÒÀçÀÔ´Ï´Ù. ±×¸¸Å ¼ÒÀçÀÇ °¨±¤¼º, ºÐÇØ Ư¼º, ÇØ»óµµ, ÀÜ·ù¸· ¾ïÁ¦·Â µîÀÌ ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô ¿ä±¸µÇ¸ç, ´Ù¾çÇÑ ¹ÝÀÀ¼ºÀ» °í·ÁÇÑ º¹ÇÕÀûÀÎ ¼³°è°¡ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù. Àú´Â ¼®»ç°úÁ¤ Áß EUV(EUV: Extreme Ultraviolet) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ ¼±±¸Àû °³¹ß ¿¬±¸¿¡ Âü¿©ÇÏ¸é¼ ÀÌ·¯ÇÑ ¼ÒÀç ¼³°èÀÇ º¹ÇÕ¼ºÀ» Á÷Á¢ üµæÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
´ç½Ã ¸ñÇ¥´Â ±âÁ¸ ArF Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®º¸´Ù ³ôÀº ÇØ»óµµ¿Í ³·Àº LWR(Line Width Roughness)À» ±¸ÇöÇÏ´Â EUV¿ë °í°¨µµ ´Ü·®Ã¼¸¦ ¼³°èÇϰí, ½ÇÁ¦ °¨±¤ Çʸ§ Ư¼ºÀ¸·Î Æò°¡ÇÏ´Â °ÍÀ̾ú½À´Ï´Ù. ù ½Ãµµ´Â ³³ÀÛÇÑ ±¸Á¶ÀÇ °íÈí¼ö °í¸®°è ´Ü·®Ã¼¸¦ µµÀÔÇÑ °ÍÀ̾úÁö¸¸, ¼ÒÀÚÀÇ Åõ°úÀ²ÀÌ ³·°í ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °á°ú¿¡¼ °úµµÇÑ crosslinkingÀ¸·Î ÆÐÅÏÀÌ Èå·ÁÁö´Â ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ ÀüÀÚ ¹Ðµµ ºÐÆ÷¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ´Ü·®Ã¼ÀÇ ÇÙ½É Ä¡È¯±â ±¸Á¶¸¦ °³¼±Çß°í, ¿ì¼öÇÑ °¨±¤¼ºÀº À¯ÁöÇ쵂 °úµµÇÑ °æÈ¹ÝÀÀÀ» ¾ïÁ¦ÇÏ´Â ¹æÇâÀ¸·Î ¹ÝÀÀ Á¶°Ç°ú º¸È£±â Á¶¼ºÀ» Á¶Á¤ÇÏ¿´½À´Ï¡¦(»ý·«)