2025 동우화인켐 [반도체 케미칼 공정 개발] 자기소개서 지원서와 면접자료

1. 최근 3년 이내 도전적 목표를 수립하여 성취결과를 이뤄낸 경험에 대해 기술해주십시오.

대학원 재학 중 저는 “플라즈마 식각 공정에서의 케미칼 반응성 향상을 위한 신규 전구체 설계 및 반응 경로 분석”이라는 도전 과제를 스스로 설정하였습니다. 반도체의 초미세화가 가속되면서 공정 정밀도에 직접 영향을 주는 전구체 및 반응물의 특성이 더욱 중요해졌고, 이에 따라 단순히 기존 화학약품을 사용하는 것이 아니라 새로운 전구체 조성으로 공정 효율을 높이는 연구가 절실한 상황이었습니다.

해당 연구에서는 하프늄(Hf) 기반 박막을 식각하는 공정에서, 기존의 F계 가스 혼합물이 잔류물이 많고 식각 선택성이 낮다는 한계를 극복하고자, 비불소계 저잔류 전구체를 직접 설계하였습니다. 실험은 CVD용 증기압 특성에 맞춘 휘발성 전구체 합성부터 시작되었고, GC-MS 및 FT-IR을 통해 생성물 분석과 함께 반응 경로를 규명했습니다.

동시에 플라즈마 실험 장비를 활용해 다양한 조건(압력, 출력, RF 파워, 가스 혼합비)에서 식각률, 표면 거칠기(Ra), 식각 균일성 등을 수치화하였습니다. 특히 반응 부산물 축적을 줄이기 위해 공정 중 진공도 유지 및 캐…(생략)