성균관대 반도체융합공학과 대학원 학업계획서 작성 가이드

1. 연구 분야 및 목표 설정

저는 차세대 반도체 소자 개발에 깊은 관심을 가지고 있으며 특히 고성능 저전력 소자 개발에 매진하고 싶습니다. 석사과정 동안 집중적으로 연구할 분야는 3차원 적층형 반도체 기술입니다. 최근 반도체 소자의 미세화 한계에 직면하면서 3차원 적층 기술은 성능 향상과 집적도 증대에 필수적인 기술로 주목받고 있습니다. 저는 기존의 2차원 플래너 구조의 한계를 극복하고, 더욱 높은 성능과 효율을 가진 3차원 반도체 소자를 개발하는 것을 목표로 합니다. 이를 위해 SiGe/Si 이종접합 트랜지스터를 이용한 고주파 소자 개발에 대한 연구를 수행하고 싶습니다. 대학 4년 동안 반도체 공정 관련 수업을 통해 습득한 지식을 바탕으로, 실리콘 기반의 고성능 트랜지스터 제작 및 특성 분석에 대한 경험을 쌓았습니다. 특히, 마이크로파 측정을 통해 소자의 고주파 특성을 평가하는 연구를 진행하면서 정밀한 측정 및 분석 능력을 배양했습니다. 이러한 경험은 3차원 적층 기술 연구에 큰 도움이 될 것이라 확신합니다. 구체적으로 저는 3차원 적층 구조 설계 및 최적화 연구, 각 층간의 연결 기술 향상, 소자의 신뢰성 향상에 …