본문/내용
1. DB하이텍 ReRAM 셀 개발 및 공정 개발 관련 경험이나 프로젝트를 구체적으로 서술해 주세요.
반도체 소자 개발 및 공정 연구에 지속적으로 매진해 왔으며, 그 과정에서 ReRAM 셀 개발과 관련된 다양한 경험을 축적하였습니다. ReRAM은 저항변화 메모리로서 비휘발성과 빠른 읽기속도, 낮은 전력소모 특성을 가지고 있어 차세대 비휘발성 메모리로 주목받고 있습니다. 이러한 특성을 실현하기 위해서는 적절한 셀구조 설계와 함께 공정 공정의 정밀한 제어가 필요하다는 것을 깊이 인지하게 되었습니다. ReRAM 셀을 구상함에 있어 소재 선정이 중요하다고 생각하였으며, 다양한 전극 및 전극 산화막 조합을 실험하였습니다. 기존에 사용하던 산화물 재료뿐 아니라 최근에 주목받는 탄소 나노튜브 나노입자 및 전이금속 산화물을 적용하는 연구를 병행하였으며, 이 과정에서 재료의 증착 조건과 열처리 조건들을 체계적으로 최적화하였습니다. 이와 함께, 높은 재현성과 안정성을 확보하기 위해 증착 두께와 품질 관리를 꼼꼼히 수행하였고, 나노구조 형성을 위해 다양한 증착법과 식각 공정을 도입하였습니다. 공정 개발 측면에서, ReRAM 셀의 저항변화 특성을 높이기 …