¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. Å¥¾ËƼ Áö¿ø µ¿±â¿Í º»ÀÎÀÇ ¾î¶² Ư¼ºÀÌ Àß ºÎÇÕÇÏ´ÂÁö »ç·Ê¸¦ µé¾î »ó¼¼È÷ ±â¼úÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ.
2. º»ÀÎÀÌ »ì¾Æ¿À¸é¼ °¡Àå °·ÄÈ÷ ¼ºÃëÇÏ°í ½Í¾ú´ø ÀÏÀº ¹«¾ùÀÔ´Ï±î ±× ÀÏÀ» ¼ºÃëÇÏ°í ½Í¾ú´ø ÀÌÀ¯, À̸¦ ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇØ Çß´ø ÀÏ, ±×¸®°í ±× °á°ú¿Í ´À²¼´ø Á¡À» Æ÷ÇÔÇÏ¿© »ó¼¼È÷ ±â¼úÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ.
3. ´Ù¸¥ »ç¶÷°ú ÇÔ²² ÀÏ(°æÇè)À» ÇßÀ» ¶§ ±× »ç¶÷Àº ±ÍÇϸ¦ ¾î¶»°Ô ÆÇ´ÜÇß°í, ±ÍÇÏ´Â ±× »ç¶÷À» ¾î¶»°Ô ÆÇ´ÜÇß´ÂÁö ±¸Ã¼ÀûÀÎ »ç·Ê¿Í ÀÌÀ¯¸¦ µé¾î ¼³¸íÇØ ÁֽʽÿÀ.
4. ÀÌÁ¦±îÁö °ÇÑ ¼Ò¼Ó°¨À» ´À²¼´ø Á¶Á÷Àº ¹«¾ùÀ̸ç, ±× Á¶Á÷ÀÇ ¹ßÀüÀ» À§ÇØ Çå½ÅÀûÀ¸·Î ³ë·ÂÇÑ °Í Áß °¡Àå ±â¾ï¿¡ ³²´Â °æÇèÀº ¹«¾ùÀÎÁö ±¸Ã¼ÀûÀÎ »ç·Ê¿Í ÀÌÀ¯¸¦ µé¾î ¼³¸íÇØ ÁֽʽÿÀ.
5. Áö¿øºÐ¾ß¿¡ °¡Àå Áß¿äÇÑ ½Ç¹«¿ª·®ÀÌ ¹«¾ùÀ̶ó°í »ý°¢ÇÏ´ÂÁö Á¤ÀÇÇϰí, ±×¿¡ µû¶ó º»ÀÎÀÇ ¿ª·®¼öÁØÀ» Á¡¼öÈ(100Á¡ ¸¸Á¡ ±âÁØ)ÇÏ¿© Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. ±×¸®°í º»ÀÎÀÌ ÇöÀçÀÇ ¿ª·®À» º¸À¯Çϱâ À§ÇØ °ú°Å¿¡ ¾î¶² ³ë·ÂÀ» ÇÏ¿´´ÂÁö »ç·Ê¸¦ µé¾î »ó¼¼È÷ ±â¼úÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ.
6. °ýÈ£ ¾È¿¡ Á¦½ÃµÈ Ű¿öµå Áß º»ÀÎÀ» °¡Àå Àß Ç¥ÇöÇϰųª, ȤÀº º»ÀÎÀÌ Ãß±¸ÇÏ´Â ¹Ù¿Í °¡Àå À¯»çÇÑ 2°¡Áö¸¦ ¼±Á¤ÇÏ°í ±× ÀÌÀ¯¸¦ ¼³¸íÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ. (Á¸Áß, °øÁ¤, ¹ÏÀ½, ÀںνÉ, Àç¹Ì)
7. Å¥¾ËƼ FIBºÐ¼® ¸éÁ¢ ¿¹»ó Áú¹® ¹× ´äº¯
º»¹®/³»¿ë
1. Å¥¾ËƼ Áö¿ø µ¿±â¿Í º»ÀÎÀÇ ¾î¶² Ư¼ºÀÌ Àß ºÎÇÕÇÏ´ÂÁö »ç·Ê¸¦ µé¾î »ó¼¼È÷ ±â¼úÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ.
`¹Ì¼¼ ºÐ¼®À» ÅëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ °³¼±, Å¥¾ËƼ¿¡¼ ½ÇÇöÇÏ´Ù`
Å¥¾ËƼ´Â ¹ÝµµÃ¼ ½Å·Ú¼º Æò°¡ ¹× ºÐ¼®À» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ °áÇÔÀ» ã¾Æ³»°í, Á¦Ç°ÀÇ ¿Ï¼ºµµ¸¦ ³ôÀÌ´Â ÇÙ½ÉÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÏ´Â ±â¾÷ÀÔ´Ï´Ù. Àú´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ºÐ¼®°ú ¹Ì¼¼ °áÇÔ ºÐ¼®¿¡ °ü½ÉÀ» °¡Áö¸ç, Å¥¾ËƼ¿¡¼ FIB(Focused Ion Beam) ºÐ¼®À» ¼öÇàÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼ ½Å·Ú¼º Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ½Í¾î Áö¿øÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
FIB ºÐ¼®Àº ³ª³ë¹ÌÅÍ ´ÜÀ§ÀÇ Á¤¹Ð °¡°ø ¹× ºÐ¼®ÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ºÐ¾ß·Î, ¼¼¹ÐÇÑ °üÂû·Â°ú ³í¸®ÀûÀÎ ¹®Á¦ ÇØ°á ´É·ÂÀÌ ÇʼöÀûÀÔ´Ï´Ù. Àú´Â ´ëÇÐ ½ÃÀý, ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ÃÖÀûÈ ¿¬±¸ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ¼öÇàÇϸç, ¹Ì¼¼ °øÁ¤ÀÇ º¯¼ö°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼º´É¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâÀ» ºÐ¼®ÇÏ´Â °æÇèÀ» ½×¾Ò½À´Ï´Ù.
ƯÈ÷, ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ½ÇÇè¿¡¼ ¿þÀÌÆÛ ³» ƯÁ¤ ÃþÀÇ ¹Ì¼¼ °áÇÔÀ» ºÐ¼®Çϰí, ÃÖÀûÀÇ °øÁ¤ Á¶°ÇÀ» µµÃâÇÏ´Â ¿¬±¸¸¦ ¼öÇàÇϸç, Á¤È®ÇÑ ºÐ¼®ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ǰÁú Çâ»óÀÇ ÇÙ½ÉÀ̶ó´Â Á¡À» ¹è¿ü½À´Ï´Ù. Å¥¾ËƼ¿¡¼µµ Á¤¹Ð ºÐ¼® ¿ª·®À» Ȱ¿ëÇÏ¿© FIB ºÐ¼®À» ¼öÇàÇϰí, ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ÃÖÀûȸ¦ Áö¿øÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÏ¡¦(»ý·«)