TES 공정개발(PECVD) 자기소개서

1. PECVD 공정 개발 경험 또는 관련 기술에 대해 구체적으로 기술해 주세요.

PECVD(플라즈마 강화 화학기상증착) 공정 개발에 있어서 핵심 역할을 담당하며 여러 가지 기술적 도전과 성취를 경험하였습니다. PECVD 공정의 기본 원리와 특성을 충분히 이해하는 것부터 시작하여, 기존 공정의 한계점을 극복하기 위한 연구와 실험을 지속해 왔습니다. 특히, 증착 두께와 균일성 확보는 중요한 과제인데, 이를 위해 가스 흐름 제어, 플라즈마 밀도 조절, 그리고 성막 조건 최적화에 집중하였습니다. 가스 분사 장치 설계와 챔버 내 압력 조절을 통해 초창기에는 균일성 불량 문제를 해결하는 데 성공하였으며, 이 과정에서 다양한 센서와 제어 알고리즘을 도입하여 공정 안정성을 크게 향상시켰습니다. 또한, 저온 증착이 필요한 신소재 개발 과정에서도 PECVD 기술이 중요한 역할을 수행하였으며, 온도 제한으로 인한 문제를 해결하기 위해 저온 공정 개발에 몰두하였습니다. 이를 위해, 플라즈마 내부의 에너지 모니터링과 가스 반응 조건을 세밀하게 조정하여, 높은 품질의 막을 균일하게 증착할 수 있었습니다. 또한, 새로운 가스 화합물이나 첨가제를 활용하여 표면 특…