º»¹®/³»¿ë
ÀÚ±â¼Ò°³¼ (°¡Á·°ü°è µî ÀÎÀû»çÇ× ±âÀç ºÒ°¡)
¡Ø ÀÔ»çÁö¿ø¼¿¡¼ ¿ä±¸ÇÏÁö ¾ÊÀº °³ÀÎÁ¤º¸(¼ºº°, Ãâ½ÅÁö µî)¸¦ ¾Ï½ÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹®±¸¸¦ ÀÛ¼ºÇÏ´Â °æ¿ì, ºÒÀÌÀÍÀÌ ÀÖÀ» ¼ö ÀÖÀ¸´Ï ÀÛ¼º ½Ã ÀÌ Á¡ À¯ÀÇÇØÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
ÃÖ±Ù 5³â µ¿¾È¿¡ ±ÍÇϰ¡ ¼ºÃëÇÑ ÀÏ Áß¿¡¼ °¡Àå ÀÚ¶ûÇÒ ¸¸ÇÑ °ÍÀº ¹«¾ùÀÔ´Ï±î ±×°ÍÀ» ¼ºÃëÇϱâ À§ÇØ ±ÍÇÏ´Â ¾î¶² ÀÏÀ» Çß½À´Ï±î - ÀÀ½Ã¿ø¼¿¡ ±âÀçÇÑ ¡®°æÇè ȤÀº °æ·Â»çÇס¯ Áß ´ëÇ¥ÀûÀÎ °Í Çϳª¸¦ ¼±ÅÃÇÑ ÈÄ º»ÀÎÀÌ ¼öÇàÇÑ °æÇè/°æ·Â Ȱµ¿¿¡ µû¸¥ °á°ú(¼º°ú)¸¦ ¿¬°èÇÏ¿© ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ±â¼ú (500ÀÚ À̳»)
Àú´Â ´ëÇпø ¿¬±¸ ÇÁ·ÎÁ§Æ®·Î ³ª³ë¼ÒÀçÀÇ ÀüÀÚºö ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(EBL) °øÁ¤ ÃÖÀûȸ¦ ¼º°øÀûÀ¸·Î ¼öÇàÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ ÇÁ·ÎÁ§Æ®ÀÇ ¸ñÇ¥´Â ¼ÒÀçÀÇ ÆÐÅÏ Á¤È®µµ¸¦ 10nm ÀÌÇÏ·Î Çâ»ó½ÃŰ´Â °ÍÀ̾ú½À´Ï´Ù. Ãʱ⠰øÁ¤ ´Ü°è¿¡¼ ¼³°è ºÒ·®°ú Àåºñ ¼³Á¤ ¿À·ù·Î ÀÎÇØ ½ÇÆÐ¸¦ °æÇèÇßÀ¸³ª, Àú´Â ¹®Á¦ ¿øÀÎÀ» µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼®À¸·Î µµÃâÇϰí, °øÁ¤ º¯¼ö¸¦ ü°èÀûÀ¸·Î Á¶Á¤ÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ» äÅÃÇß½À´Ï´Ù. ½ÇÇè Áß ¹ß»ýÇÑ ¿¹»óÄ¡ ¸øÇÑ ¼ÒÀç º¯ÇüÀ» ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ µ¿·á ¿¬±¸¿øµé°ú Çù¾÷Çϸç ÇØ°áÃ¥À» ¸ð»öÇß°í, ±× °á°ú Á¤È®µµ¸¦ 7nm ¼öÁرîÁö ²ø¾î¿Ã¸± ¡¦(»ý·«)