본문/내용
1. 제우스 반도체 세정 장비의 배관 설계 경험에 대해 구체적으로 설명해 주세요.
제우스 반도체 세정 장비의 배관 설계 경험에 대해 말씀드리자면, 먼저 배관 설계의 기본 목표는 장비의 안정성과 효율성을 높이기 위해 정밀하게 흐름을 제어하는 데 있다고 할 수 있습니다. 이를 위해 공정 특성에 맞는 배관 재질을 선정하는 것부터 시작하였으며, 주로 스테인리스 스틸과 유리 섬유 강화 플라스틱(FRP) 등을 사용하여 내식성과 내열성을 확보하였습니다. 배관의 직경과 두께를 정할 때는 유량 계산과 압력 강하를 꼼꼼히 검토하였으며, 필요시 유량 조절 밸브와 체널 밸브를 적절히 배치하여 공정 조건에 따라 유량을 원활하게 조절할 수 있도록 설계하였습니다. 배관 배치를 설계할 때는 세정액 공급, 배수, 환기 등을 고려하여 장비 내부의 공기 흐름과 액체 흐름이 원활하게 이루어지도록 하였습니다. 또한, 배관이 급격히 굽거나 교차하는 구간이 없도록 선형적이고 직선적인 배치로 설계하여 교체 및 유지보수 시의 편의성을 높였으며, 교차하는 부분에서는 적절한 배관 클램프와 서포트 구조를 배치하여 안정성을 확보하였습니다. 배관 연결 부위에는 퍼지 밸브…