단국대 반도체 공정 구용서교수님 과제

1.DI Water

DI Water는 `Deionized Water`의 약자로, 이온이 제거된 물을 의미한다. 일반적으로 물 속에는 다양한 이온이 존재하는데, DI Water는 이러한 이온이 제거된 상태로, 순수한 물에 가까운 형태이다. 반도체 공정에서는 미세한 전자 소자가 제조되기 때문에 오염물질이 중요하다. 이때 DI Water는 이러한 오염물질을 제거하는 역할을 하며, 제품의 품질에 직접적인 영향을 미친다. DI Water의 제조 과정은 ion exchange resin을 사용하는데, 이 과정에서 물 속의 양이온과 음이온이 각각 제거 된다. 물이 처음에는 일반적인 수돗물이나 지하수 같은 형태로 들어오지만, 이를 특정한 방법을 통해 처리하여 이온을 제거한다. 이 과정에서는 일반적으로 카테온과 애니온이온 교환 수지가 사용된다. 카테온 수지는 물 속의 양이온, 예를 들어 나트륨(Na), 칼슘(Ca²), 마그네슘(Mg²) 등을 제거하며, 애니온 수지는 음이온, 예를 들어 염소 이온(Cl), 황산 이온(SO₄²) 등을 제거하는 역할을 한다. 이온이 제거된 DI Water는 전자기기, 반도체 소자의 세척 공정에서 널리 사용되며, 주로 이러한 소자들의 표면 세정, 화학적 반응에서의 용매, 또는 기타 각종 공정에…