본문/내용
1. TFT 공정 Process
TFT 공정은 액정 디스플레이(LCD) 제조의 핵심 단계로, Thin Film Transistor 기술을 기반으로 한 공정이다. TFT는 전자 장치에서 기본적으로 전류를 제어하는 스위치 역할을 수행하며, 이러한 트랜지스터가 배열되어 픽셀을 형성하게 된다. TFT 공정은 여러 가지 복잡한 단계를 포함하며, 각 단계에서 고도의 정밀도가 요구된다. 첫 번째 단계는 기판 준비이다. TFT 공정에 사용되는 기판은 일반적으로 유리 혹은 플라스틱 소재로 구성되어 있으며, 이 기판 위에 다양한 박막 코팅이 진행된다. 기판은 세척 과정을 통해 먼지와 불순물이 제거되며, 이를 통해 보다 안정적인 전기적 특성이 유지된다. 기판 준비가 완료되면, 다음 단계로 이동하게 된다. 두 번째 단계는 박막 증착이다. 이 과정에서는 TFT의 활성층이 형성되도록 산화물 반도체 물질을 기판 위에 증착하게 된다. 일반적으로 사용되는 재료는 인듐 주석 산화물(ITO) 또는 아몰퍼스 실리콘(a-Si)이다. 이들은 낮은 온도에서도 잘 증착될 수 있으며, 전자 이동도가 좋기 때문에 TFT의 성능을 향상시키는 데 기여한다. 박막 증착은 물리적 증착(Physical Vapor Deposition, PVD) 또는 화학…