(특집) 포토공정 심화 정리6편. Track System이란

1. Wafer loader / Index unit / Robot arm(구동부)

포토공정의 핵심 요소 중 하나인 트랙 시스템에서 중요한 역할을 하는 구성 요소들이 있다. 그 중심에는 웨이퍼 로더, 인덱스 유닛, 로봇 암이 있다. 이들은 포토 리소그래피 과정에서 웨이퍼를 자동으로 처리하는 데 필요한 장치들로, 전체 공정의 효율성과 정확성을 극대화하는 데 기여한다. 웨이퍼 로더는 웨이퍼를 자동으로 장비에 공급하는 장치다. 이를 통해 수동으로 웨이퍼를 다루는 것보다 훨씬 빠르고 정확하게 작업을 수행할 수 있다. 웨이퍼가 로더에 장착되면, 이 장치는 일정한 속도로 웨이퍼를 리소그래피 장비에 공급한다. 이러한 시스템은 대량 생산에서 중요한 역할을 하며, 생산 공정의 연속성을 보장한다. 인덱스 유닛은 웨이퍼가 다음 공정으로 이동하기 전에 각 공정이 완료되었음을 확인하는 역할을 한다. 보통 웨이퍼 로더와 결합되어 작동하며, 웨이퍼가 올바른 위치에 정확하게 정렬되었는지를 체크하는 데 해당한다. 이 과정은 곧 이어질 포토공정이 높은 정밀도로 수행될 수 있도록 하는 데 필수적이다. 인덱스 유닛은 전체 공정의 흐름을 관리하고, 필요에 따라 웨이퍼를 다음 단계로 안전…