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[Rich-ard C.Jaeger] 반도체공정개론 솔루션
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자료설명
목차/차례
제1장 미소전자 제조 공정 ...15
제2장 리소그래피 ...31
제3장 실리콘 산화막 ...57
제4장 확산 ...85
제5장 이온 주입법 ...131
제6장 박막 증착 ...155
제7장 상호접속과 접촉 ...181
제8장 패키징 및 수율 ...209
제9장 MOS 공정 집적화 ...235
제10장 양극 공정 집적화 ...273
제11장 MEMS 공정 ...313
제2장 리소그래피 ...31
제3장 실리콘 산화막 ...57
제4장 확산 ...85
제5장 이온 주입법 ...131
제6장 박막 증착 ...155
제7장 상호접속과 접촉 ...181
제8장 패키징 및 수율 ...209
제9장 MOS 공정 집적화 ...235
제10장 양극 공정 집적화 ...273
제11장 MEMS 공정 ...313
추천자료
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I D : ******** Date : FileNo : 21101728 |
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