RF MEMS 스위치 제작

1. RF MEMS 스위치 개요
이동통신 기술이 발달하고 있는 지금 원활한 통신을 위한 무선기술은 현저하게 진화되고 있다. 향후, 통신속도의 고속화와 접속의 쾌적성을 추구하면, 휴대단말을 비롯한 무선기기 내부의 부품, 특히 수동 부품수의 증대가 큰 issue화 되고 있다. 이에 대해, 부품의 대폭적인 소형화를 가능하게 하는 RF-MEMS(Radio Frequency-Micro Electro Mechanical System: RF MEMS) 기술이 주목 받고 있다. LSI 등의 반도체 디바이스 제작 프로세스와 프로세스의 호환성이 높으며, 이 기술에 의하여, 향후 튜너블 커패시터나 필터 등의 수동부품과 LSI를 원칩화할 수 있는 등, 차세대 무선기기를 큰 폭으로 소형화할 수 있는 길이 열렸다.

이 보고서는 RF MEMS 스위치에 대해 알아보고 제작하여 측정해보는 시간을 갖도록 한다.

MEMS 란 Micro-Electro-Mechanical System 의 약어로서 마이크론 단위의 기계적 구조물과 전자회로가 결합된 시스템을 의미한다. 여기서 광과 MEMS기술이 접목되어 MEMS와 광이 결합한 MOEMS란 분야가 수년 전부터 각광받기 시작하였다. MEMS/MOEMS란 수십에서 수백 마이크론 크기의 아주 작은 구조물을 마이크론 단위…