투명전극의 정의

1.투명전극의 정의

투명전극재료는 평판디스플레이, 및 태양전지 등의 소자에서 투명전극으로 사용되고 있는 물질을 통칭한다. 투명전극재료라고 불릴려면 우선 가시광영역(400nm ~ 700nm)에서 80%정도의 광투과도를 가지며 ~10^3/옴센티의 높은 전기전도도를 가지는 재료여야 한다. optical bandwidth가 3.5eV 정도이기 때문에 자외선영역은 모두 투과 시키고 적외선영역의 높은 반사율, 적절한 에칭 특성을 가지고 있어야 한다.

2. 투명전극의 종류

(1)ITO
ITO 투명전도막은 그림 2.1(b)의 공통전극(common electrode)과 화소전극(pixer electrode)에 쓰이고 있다. 차세대 디스플레이로서 주목받고 있는 OLED(organic light emitting display)의 양극(anode) 물질로서 사용되는 물질 또한 ITO 투명전도막이다. ITO는 주원료 In에 의한 재료비의 상승, In의 확산으로 인한 소자열화, 수소 plasma 하에서의 In, Sn의 높은 환원성, 그에 따라 수반되는 소자의 불안전성 등의 문제점을 가진다. 이러한 문제점을 보완할 수 있는 새로운 물질의 개발이 요구 되었고, 다양한 재료의 개발이 이루어져 왔다.

(2)SnO2
SnO2 (tin oxide)는 ITO에 비해 값가격이 싸며 화…