진공누설시험법

1. 서론 진공용기에 누설(Leak)이 있는 경우 원하는 진공을 얻을 수가 없기도 하고 제품수율에 악영향을 미칠 수도 있으므로 누설 검사를 하여 누설을 제거하게 된다. 누설검사는 시간과 인력이 걸임으로 누설의 성질을 예측하여 그에 맞는 적합한 시험방법과 시험기기를 선택할 필요가 생긴다. 여기에서는 진공산업에 널리 이용되는 헬륨 누설 시험기(Helium leak detector)를 사용한 누설 시험법을 중심으로 개설한다. 2. 누설의 모양 누설의 형태는 여러 종류가 있다(그림1). (a),(b)의 누설은 구조가 단순한 결함이며, 발견과 보수가 비교적 쉽다. (c),(d)는 발견이 어려운 누설의 예이다. (c)는 설계상의 결함(양면 용접 등)이 원인으로 생긴다. (d) 는 소재의 결함이 주가 되는 결함이다. (e)는 누설 속에 액체(예를 들어 기름 등)이 표면장력으로 포착되어 발견이 어려운 예다. 이 경우 가열하면서 장 시간 배기하여 발견 할 수 있다. (f)는 주로 설계,제작상의 불량에 의한 것이며, 장시간 배기 하여도 압력이 내리지 안으며 누설로 오인되는 일종의 의사 누설이다. 그림2는 스테인리스강의 장기간에 입계(粒界)에 따라가며 부식이 성장한 누설이다. 그림으로부터 누설형태와 크기(지름 약 10㎛)를 알 수 있다.