본문/내용
* 일반적 의미 - 도체와 절연체의 중간 성질을 가진 물질
* 공학적 의미 - 원래 부도체이나 빛, 열, 불순물을 가해주면
전기가 통하는 도체가 되며, 이것을 정밀하게
제어할 수 있는 물질
* 사전적 의미 - 전기 전도가 전자와 정공에 의해 이루어지는 물질
참고문헌
* 나노 집적회로 공정기술 – 윤영섭
(홍릉과학출판사, 2004)
* 반도체 기술 핸드북 – 이종명
(도서출판 한림원, 2003)
* 반도체 제조공정 – 이제원
(인제대학교, 2005)