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라인강물도 침전, 여과를 거친뒤 오존처리를 하게 되기 시작했고 그후 1901년, 1902년 독일 Wiesbaden, parderbom에 오존 정수처리장을 건설하였다.
프랑스에서는 네덜란드 Oushoorn 정수처리장의 처리 현황을 파악한 후 1906년 Nice에 19,000㎥/d (5mgd) 규모의 살균목적의 오존(Bon Vouage 처리장)처리장이 건설된뒤 본격적으로 이용하기 시작했다.
유럽 몇몇 나라에서 대규모 오존 처리장이 생기게 된 후 1916년까지 총처리용량 319,200㎥/d(84 mgd), 49개 처리장이 가동 되었고 이중 26개가 프랑스에 있었다. 1940년에는 그 숫자가 119개로증가 하였다. 1950년 당시만해도 프랑스 파리시는 총 급수량의 1/3을 오존으로 처리하고 있었는데 약 8백만명에게 급수하는 136개소 처리장이 오존 처리수로 운전 하였으며 1970년 말에는 그 수가 600개소에 이르고 있다. 카나다에서는 1956년 최초로 Quebec주 St Therese 처리장에서 오존처리를 가동한 후 1977년까지 약 20개의 오존 처리장이 설치운전 되었다. 1990년 현재 전 세계적으로 오존을 사용하는 수처리장은 무려 1000개소가 넘고 있다.
한편, 미국은 1941년 인디아나주 Whiting처리장에서 염소소독으로 인한 맛, 냄새제거를 위해 26,500 ㎥/d 규모의 오존정수처리장치를 최초로 실시 하였으나, 저렴한 염소 처리가 많이 보급되면서 오존의 사용이 중단 되었다.
그러나 최근에 들어오존의 살균력 뿐만 아니라 그 외의 많은 부가적인 처리효율증대에 대해 인식하게 되면서부터 정수처리에 오존적용이 많아지게 되어 미국내에서는 1988년 현재 이미 가동중 이거나 건설중에 있는 처리장은 약 40여개에 이르고 있으며 그 수는 점차 증가하고 있다.
한편 국내에서는 1986년 현재 부산 화명 정수처리장에 약 60만톤 규모의 정수처리공정에 오존 처리법을 이용하고 있으며 그 적용 범위가 넓혀져 나갈 전망이다.