자동화의핵심‘센서’

기기분야에서 급격한 수요증가가 예상되며 주로 반도체압력센서가 적용될 예정이어서 이 분야의 기술확보가 시급할 것으로 판단된다. 또한 공정제어, 화학플랜트 및 반도체산업에 적용되고 있는 압력센서는 감지방식에 관계없이 거의 전량을 수입에 의존하고 있어 국산품에 대한 의식개조와 홍보가 무엇보다도 중요하다. ▲압력센서기술 동향 가. 선진국 기술동향 선진국의 기술개발동향은 기계식이나 전자식보다 소형, 저가, 고신뢰성, 고감도를 가진 반도체압력센서에 비중을 두고 있다. 특히 마이크로머시닝기술을 이용하여 1개의 칩내에 복수의 압력센서를 집적한 멀티화, 서로다른 기능의 센서를 집적한 다기능화. 일렉트로닉스를 집적한 인텔리전트화 압력센서개발이 진행되고 있다. 미국의 Nova Sensor사는 SFB(Silicon Fusion Bonding)기술을 이용하여 의료용으로 쓰이는 실리콘압력센서를 개발하였다. 반도체 압력센서의 세계적인 메이커는 미국의 Nova Sensor, Honeywell, Motorola, GM, 네덜란드의 Philips등이다. 일본의 경우는 산업용 기계장치나 반도체제조장비 등에 사용되는 압력센서의 수요가 눈에 띄게 늘고 있으며, 코팔전자, 나가노계기, 도요다공기 등의 업체가 상대적인 기술우위를 점하고 있다. 이들 업체들은 주로 센서가공기술의 기술축적을 도모하면서 가능한한 초소형이고 집적화된 On-Chip형 센서개발에 주력하고 있으며 소비자와의 직접적인 연계를 통하여 기존에 다른 방법으로 측정되던 것의 대체수요를 가시화시킴으로써 적용범위의 확대를 꾀하고 있다. 나. 국내기술 동향 압력센서에 관한 국내의 연구·개발수준은 다른 연구에 비해서 활발하지 못한 실정이며, 국내의 취약한 산업구조로 다품종·소량생산방식에서 벗어나지 못하고 있어 기술잡약적인 동산업의 발전에 장애가 되고 있다. 현재 압력센서…
압력센서에 관한 국내의 연구·개발수준은 다른 연구에 비해서 활발하지 못한 실정이며, … ▲결론 ∙고정밀 특수용 전자식 압력센서