펌프

6) 루츠 펌프 루츠 펌프는 두 개의 리본모양의 회전 로타가 쌍을 이루며 회전함으로써 공기를 함입하여 배기 시키는 것입니다. 주로 저진공, 중진공영역에서 많이 쓰이며, 용량이 대용량이므로 다량의 공기를 배기시키는데 유용합니다. 특히 1Torr부터 10Torr 의 영역에서 대용량의 배기 능력을 가지고 있으므로, 식품의 동결건조 공정 등에서 우수한 성능을 발휘합니다. 그러나 배기부가 대기압인 경우 배기 능력을 상실하므로, 로타리 베인 펌프등 다른 보조펌프와 연결하여 사용되고 있습니다. 7) 수봉식 펌프 이 펌프는 여러개의 날개를 가진 회전익과 실린더로 구성되어 있습니다. 임펠라는 실린더와 편심되어 회전을 하는데, 이때실린더 안의 액체는 임펠라에 의해 회전력을 부여받아 회전을 하게되고, 여기서 오는 원심력으로 액체가 실린더 벽면에 달라 붙어 원형의 고리를 형성하게 됩니다. 따라서 임펠라와 액체고리 사이에는 임펠라의 편심 차이에서 오는 초생달 모양의 공간이 생기게 되고, 이것이 로타리 베인 펌프에서와 같은 원리로 공기를 뽑아내게 되는 것입니다. 수봉식 펌프는 실린더 내에 액체가 차 있는 상태에서 작동하므로, 흡입되는 공기에 부식성 가스나 다량의 수분이 함유되어 있는 공정에 많이 쓰이고 있습니다. 그러나 실린더 안의 액체의 온도에 따라 진공도가 달라지고, 급수 및 폐수처리를 위해 부대 시설을 갖추어야 하는 등의 단점이 있고, 도달 진공도도 만족스럽지 못한 경우가 많아 최근 들어서는 배출 급유식 로타리 베인 펌프로 대체되고 있는 추세입니다. 8) 터보 분자 펌프 이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고, 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 가진 회전자 와 그사이에 있는 고정자를 써서, 공기의 입자운동에 일정한 방향성을 부여함으로써 공기를 배출시키는 것입니다. 터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지하므로, 고진공이 지속적으로 요구되는 …
터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고… 9) 확산펌프