SEM의 구조

이 두방식중 전자의 방식은 유확산 펌프의 동작원리상 냉각수를 필요로 하고 오일 증기의 역유입 (Back Streaming)현상으로 경통내를 오염시킬 우려가 있으나 진동이 없는등 안정되고 유지보수가 쉬운점등의 장점이 있다. 한편 터보펌프를 사용할 경우 오일증기의 오염 염려는 없으나 펌프자체가 고속회전을 하므로 경통에 직접진동을 전달할 가능성도 있고 정기적인 축베어링 교체등의 보수 작업이 따른다. 또한 텅스텐 필라멘트 대신에 LaB6필라멘트를 쓰기위해서는 더 높은 진공이 필수적이므로 이때는 앞에 말한 진공시스템 외에 이온게터펌프 (Ion Getter Pump)를 추가사용 진공도를 높이기도 한다. 다음에 유확산 펌프의 구조와 원리를 간단히 설명한다. 유확산 펌프는 원통형 구조의 경통에 적당량의 오일을 충진하고 밑면에 히터를 장착하였다. 내부에는 제트침니 (JET CHIMNEY)를 두어 가열된 오일증기가 이 침니상의 노즐을 고속으로 뿜어져 나오게 하고 경통주위에는 냉각수 라인을 설치하여 오일증기를 식혀 오일로 환원 시킨다. 한편 밑면에 배기구가 있어 유회전 펌프와 연결한다. 이 유확산 펌프의 동작은 먼저 유회선 펌프로 10토르 이하로 내부진공을 뽑고 …
이 두방식중 전자의 방식은 유확산 펌프의 동작원리상 냉각수를 필요로 하고 오일 증기의 역유입 (Back Streaming)현상으로 경통내를 오염시킬 우려가 있으나 진동이 없는등 안정되고 유지보수가 쉬운점등의 장점이 있다. 한편 터보펌프를 사용할 경우 오일증기의 오염 염려는 없으나 펌프자체가 고속회전을 하므로 경통에 직접진동을 전달할 가능성도 있고 정기적인 축베어링 교체등의 보수 작업이 따른다. 또한 텅스텐 필라멘…