PLASMA

I. Plasma
Plasma라는 말을 물리학 용어로 처음 사용한 사람은 미국의 물리학자 `Langmuir`(랑뮈어)로서, 전기적인 방전(discharge)으로 인해 생기는 전하를 띤 양이온과 전자들의 집단을 Plasma라고 한다. 물질 중 가장 낮은 에너지 상태는 고체이다. 이것이 열(에너지)을 받아서 차츰 액체로 되고 그 다음에는 기체로 전이를 일으킨다. 기체가 더 큰 에너지를 받으면 상전이와는 다른 이온화 된 입자들, 즉 양과 음의 총 `전하 수는 거의 같아서 전체적으로는 전기적인 중성을 띄는 plasma 상태로 변환한다.
Plasma라는 용어가 일반인들에게는 생소하게 들릴지는 모르지만 각 가정에서 조명등으로 사용하고 있는 형광등이나, 길거리에서 흔히 볼 수 있는 네온사인, 한 여름에 소나기가 쏟아지면서 자주 발생하는 번갯불과 같은 것들이 plasma 상태라고 하면 이해하기가 쉬울 것이다.
Plasma는 수만도 정도의 온도와 109∼1xxx/cm3 의 밀도를 갖는 저온 Glow discharge plasma와 수천만도 이상의 온도와 1013∼1014/cm3 의 밀도를 갖는 초고온 핵융합 plasma로 크게 구별할 수 있다. 이중 공업적으로 이용이 활발한 Plasma는 저온 Glow discharge plasma로서 반도체 공정…