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PLASMA
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자료설명
plasma에 대해서 설명했습니다.
plasma
plasma
목차/차례
Ⅰ. Plasma
1.Plasma2.Gases
2.1 Kinetic Theory of gas2.2 Gas Phase Collision Processes
3.Fundamentals of Plasma (Basic Concepts)
3.1 Degree of Ionization & Plasma Temp3.2 Plasma Potential
3.3 Sheath Formation at a Floating Substrate
3.4 Bohm Criterion
3.5 Ambipolar DiffusionⅡ. DC Glow Discharge
1. Architecture of the Discharge
1.1 Structure of DC Plasma
1.2 I-V characteristics of DC glow discharge
1.3 Voltage Distribution in DC glow discharge
2.Maintenance of the Discharge
2.1 Secondary Electron Emission
3.Three regions
3.1 Cathode Region
3.2 Anode Region
3.3 Glow Region
4.Paschen’s law
Ⅲ. RF Discharge
1.Needs for RF
1.1 why not DC
1.2 Efficiency of RF discharge
1.3 13.56 MHz RF
2. Self Bias of RF electrodes
3. Matching Networks
4. Symmetrical and Asymmetrical systems
3.Three regions
3.1 Cathode Region
3.2 Anode Region
3.3 Glow Region
4.Paschen’s law
Ⅲ. RF Discharge
1.Needs for RF
1.1 why not DC
1.2 Efficiency of RF discharge
1.3 13.56 MHz RF
2. Self Bias of RF electrodes
3. Matching Networks
4. Symmetrical and Asymmetrical systems
5. Voltage Distribution in RF system
6. RF Paschen’s Curve
Ⅳ. Reference본문/내용
I. Plasma
Plasma라는 말을 물리학 용어로 처음 사용한 사람은 미국의 물리학자 `Langmuir`(랑뮈어)로서, 전기적인 방전(discharge)으로 인해 생기는 전하를 띤 양이온과 전자들의 집단을 Plasma라고 한다. 물질 중 가장 낮은 에너지 상태는 고체이다. 이것이 열(에너지)을 받아서 차츰 액체로 되고 그 다음에는 기체로 전이를 일으킨다. 기체가 더 큰 에너지를 받으면 상전이와는 다른 이온화 된 입자들, 즉 양과 음의 총 `전하 수는 거의 같아서 전체적으로는 전기적인 중성을 띄는 plasma 상태로 변환한다.
Plasma라는 용어가 일반인들에게는 생소하게 들릴지는 모르지만 각 가정에서 조명등으로 사용하고 있는 형광등이나, 길거리에서 흔히 볼 수 있는 네온사인, 한 여름에 소나기가 쏟아지면서 자주 발생하는 번갯불과 같은 것들이 plasma 상태라고 하면 이해하기가 쉬울 것이다.
Plasma는 수만도 정도의 온도와 109∼1xxx/cm3 의 밀도를 갖는 저온 Glow discharge plasma와 수천만도 이상의 온도와 1013∼1014/cm3 의 밀도를 갖는 초고온 핵융합 plasma로 크게 구별할 수 있다. 이중 공업적으로 이용이 활발한 Plasma는 저온 Glow discharge plasma로서 반도체 공정…(생략)
Plasma라는 말을 물리학 용어로 처음 사용한 사람은 미국의 물리학자 `Langmuir`(랑뮈어)로서, 전기적인 방전(discharge)으로 인해 생기는 전하를 띤 양이온과 전자들의 집단을 Plasma라고 한다. 물질 중 가장 낮은 에너지 상태는 고체이다. 이것이 열(에너지)을 받아서 차츰 액체로 되고 그 다음에는 기체로 전이를 일으킨다. 기체가 더 큰 에너지를 받으면 상전이와는 다른 이온화 된 입자들, 즉 양과 음의 총 `전하 수는 거의 같아서 전체적으로는 전기적인 중성을 띄는 plasma 상태로 변환한다.
Plasma라는 용어가 일반인들에게는 생소하게 들릴지는 모르지만 각 가정에서 조명등으로 사용하고 있는 형광등이나, 길거리에서 흔히 볼 수 있는 네온사인, 한 여름에 소나기가 쏟아지면서 자주 발생하는 번갯불과 같은 것들이 plasma 상태라고 하면 이해하기가 쉬울 것이다.
Plasma는 수만도 정도의 온도와 109∼1xxx/cm3 의 밀도를 갖는 저온 Glow discharge plasma와 수천만도 이상의 온도와 1013∼1014/cm3 의 밀도를 갖는 초고온 핵융합 plasma로 크게 구별할 수 있다. 이중 공업적으로 이용이 활발한 Plasma는 저온 Glow discharge plasma로서 반도체 공정…(생략)
참고문헌
1. 『Glow Discharge Process』 Brian Chapman
2. 『Cold Plasma in Materials Fabrication』 Alfred Grill
3. 『The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication』
Stephen A. Campbell
2. 『Cold Plasma in Materials Fabrication』 Alfred Grill
3. 『The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication』
Stephen A. Campbell
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I D : ksap****** Date : 2011-10-15 FileNo : 16127929 |
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