열증발에 관한 실험

저항가열식 진공증착법으로 제조할 수 있는 박막재료는 금속, 합금을 비롯 화합물과 비금속 산화물 등이 있으며 이들 박막의 기능과 성질은 매우 다양하다. 이러한 재료로 산업분야로 응용을 함으로써 소자의 소형화, 경량화, 초집적화의 추세에 따라 다방면으로 적용되고 있다. 첨단산업을 예로 들면 자성재료와 반도체재료는 거의 모든 전자부품 및 기기에 필수적으로 소요되는 핵심전자재료로서 최근 전자통신산업, 우주항공산업, 생명과학산업 등과 같은 첨단 기술산업의 광범위한 영역에 걸쳐 여러 가지의 기능을 구현하기 위해 기술개발이 이루어지고 있는 산업전도용 재료이다. 20세기에 들어서는 자기기록산업이 발전함에 따라 통신산업의 급진전과 함께 자기기록매체용 자성재료들의 개발이 이루어졌고 최근에는 매우 다양한 분야에서 수요가 창출되고 있으므로 향후 21세기에는 자성재료의 응용이 20세기보다 훨씬 확산될 것으로 예상되고 있다. 이러한 자기기록장치들은 박막을 이용하여 초경량화와 집적화에 따른 고밀도화된 자기기록의 우수한 재생을 가능하게 하였는데 보다 정확하고 민감한 박막형태의 자기센서개발이 요구되고 있는 실정이다. 저항가열식 진공증착법으로 자성다층박막을 성장시켜 자기저항의 효과를 이용하여 기록매체의 자기정보를 해독할 수 있는 자기감지센서로서 이용할 수 있고, 또한 센서류 이외에도 기존의 이방성 자기저항재료인 퍼머로이박막에 비해 엄청나게 큰 자기저항을 가지므로 기록 밀도기술에 새로운 MR 자기헤드재료 및 MRAM (magnetoresistive random access memory)등에의 응용을 위한 연구가 활발히 이루어지고 있다. Thermal evaporator 의 작동원리 저항가열식 진공층착법 (Resistive heating evaporation) 진공층착법은 1857년에 Faraday가 처음으로 행한 방법으로 이 방법은 박막제조법중에서 널리 보급된 방법이라 할 수 있다. 원리는 간단…
진공층착법은 1857년에 Faraday가 처음으로 …