º»¹®/³»¿ë
2. Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æÀÇ ¹ßÀü¿ª»ç
Åõ°úÇö¹Ì°æ(TEM)ÀÇ ¹ßÀüÀº ÀÔÀÚ¹°¸®¿Í ÀüÀÚ±âÇÐÀÇ ¹ßÀü°ú ±× ±Ë¸¦ °°ÀÌ ÇÑ´Ù. TEMÀÇ ±Ù¿øÀº 1929³â µ¶ÀÏÀÇ Ernst Ruska°¡ À½±Ø°üÀÇ ¿¬±¸ Áß¿¡ Á÷°æ 0.3mmÀÎ ¾ç±Ø Á¶¸®°³ÀÇ ¿µ»óÀ» È®´ë½ÃŲ ½ÇÇè¿¡ ÀÖ´Ù. ÀÌ ¼º°ú´Â ÃÊÁ¡°Å¸®°¡ ÀÛÀº ÀüÀڱ⠷»Á °í¾ÈÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú±â ¶§¹®Àε¥, 1925³â¿¡ de BroglieÀÇ ÀÔÀ򮀵¿ÀÌ·ÐÀ» ÀÌÇØÇÏÁö ¸øÇÑ Ã¤ ÀüÀÚºöÀ¸·Î ¹°Ã¼ÀÇ ¿µ»óÀ» È®´ë½Ãų ¼ö ÀÖÀ½À» Áõ¸íÇØÁØ È¹±âÀûÀÎ »ç°ÇÀ̾ú´Ù. 1931³â 4¿ù 7ÀÏ Ruska´Â ¹é±Ý ±×¸®µå¸¦ ÀüÀÚºöÀ¸·Î 2´Ü°è È®´ë½ÃÄÑ ¿µ»óÈÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇÏ¿© ÀüÀÚºöÀ» »ç¿ëÇÑ Çö¹Ì°æÀÇ °¡´É¼ºÀ» óÀ½À¸·Î º¸¿© ÁÖ¾ú´Ù. °¡¼ÓÀü¾ÐÀº 50kV¿´À¸¸ç ¹èÀ²Àº 13¹è¿´´Ù. Ruska°¡ °í¾ÈÇÑ ÃÖÃÊÀÇ TEMÀº µÎ °³ÀÇ ÀüÀڱ⠷»Áî·Î ¹°Ã¼ÀÇ »óÀ» È®´ë½Ã۵µ·Ï µÇ¾î ÀÖ¾î¼ ÇöÀç »óÇ°ÈµÈ TEMÀÇ ±âº» ¿ä¼Ò¸¦ ¸ðµÎ °®Ãß°í ÀÖ´Ù. ´ç½Ã Ruska¿Í Max KnollÀº ÀÌ ÀåÄ¡¸¦ ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀ̶ó°í À̸§ÇÏÁö ¾Ê¾ÒÀ¸³ª ÀÌ ±âÃÊÀû ¿¬±¸°á°ú·Î Ruska´Â 1986³â¿¡ ³ëº§¹°¸®ÇлóÀ» ¼ö»óÇÏ°Ô µÈ´Ù. ¹ÝµµÃ¼¿Í ÀüÀÚÁ¦¾î ±â¼úÀÇ ¹ßÀüÀ¸·Î 80³â´ë ÀÌÈÄ ºÐ¼®ÀüÀÚÇö¹Ì°æ(ATEM:analytical TEM)ÀÇ º¸±ÞÀÌ º¸ÆíȵǾú´Ù. AEMÀº º°µµÀÇ ¹ßÀüµÈ ±â¡¦(»ý·«)
Âü°í¹®Çå
[1] ±Ýµ¿È, ±è±àÈ£, ÀÌÈ®ÁÖ ÆíÀú, Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æºÐ¼®ÇÐ, û¹®°¢, Çѱ¹ÀüÀÚÇö¹Ì°æÇÐȸ (1996)
[2]J.W. Edington, Practical Electron Microscopy in Materials Science, vol.1, McMillan, Phillips Tech. Library (1975)
[3]G.Thomas and M.J. Goringe, Transmission Electron Microscopy of Materials, John Wiley & Sons, New York (1979)
[4]P.R. Buseck, J. M. Cowley and E. Eyring, High Resolution Transmission Electron Microscopy and Associated Techniques, Oxford Univ. Press, New York (1988)
[5]P. Hirsch, A. Howie, R.B. Nicholson, D.W. Pashley and M.J. Whelan, Electron Microscopy of Thin Crystals, Krieger Publications (1977)
[6]J.C.H. Spence, Experimental High Resolution Electron Microscopy, Oxford Univ. Press, Oxford(1981)
[7]ÀÌÈ®ÁÖ, ·ùÇö, Ç㳲ȸ, ¹Ú¿ë±â:Çѱ¹ ÀüÀÚÇö¹Ì°æÇÐȸÁö, 25(4), 124¢¦131(1995)