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투과전자 현미경(TEM:transmission electron microcope)의 원리와 응용
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자료설명
투과전자 현미경(TEM:transmission electron microcope)에 관하여 그 기기구성과 얻을 수 있는 영상정보에 대하여 소개
목차/차례
- 1. 머 리 말
- 2. 투과전자현미경의 발전역사
- 3. 가속전자와 시료의 반응
- 3.1. 원자핵과의 반응
- 3.2. 전자각과의 반응
- 4. TEM 기기 구성
- 5. 전자의 성질과 전자기 렌즈
- 5.1. 가속전자의 에너지와 파장
- 5.2. 자장에서의 전자의 운동
- 5.3. 전자기 렌즈와 영상
- 5.4. 전자기렌즈의 특징과 결함
- 6. 렌즈작용과 TEM 영상
- 6.1. 렌즈작용과 Abbe 영상
- 6.2.TEM의 분해능
- 7. TEM영상기법과 그 응용
- 7.1. 영상모드
- 7.2. 회절 모드
- 7.3. 관찰 예
- 8. 맺는말
본문/내용
2. 투과전자현미경의 발전역사
투과현미경(TEM)의 발전은 입자물리와 전자기학의 발전과 그 궤를 같이 한다. TEM의 근원은 1929년 독일의 Ernst Ruska가 음극관의 연구 중에 직경 0.3mm인 양극 조리개의 영상을 확대시킨 실험에 있다. 이 성과는 초점거리가 작은 전자기 렌즈를 고안할 수 있었기 때문인데, 1925년에 de Broglie의 입자파동이론을 이해하지 못한 채 전자빔으로 물체의 영상을 확대시킬 수 있음을 증명해준 획기적인 사건이었다. 1931년 4월 7일 Ruska는 백금 그리드를 전자빔으로 2단계 확대시켜 영상화하는 데 성공하여 전자빔을 사용한 현미경의 가능성을 처음으로 보여 주었다. 가속전압은 50kV였으며 배율은 13배였다. Ruska가 고안한 최초의 TEM은 두 개의 전자기 렌즈로 물체의 상을 확대시키도록 되어 있어서 현재 상품화된 TEM의 기본 요소를 모두 갖추고 있다. 당시 Ruska와 Max Knoll은 이 장치를 전자현미경이라고 이름하지 않았으나 이 기초적 연구결과로 Ruska는 1986년에 노벨물리학상을 수상하게 된다. 반도체와 전자제어 기술의 발전으로 80년대 이후 분석전자현미경(ATEM:analytical TEM)의 보급이 보편화되었다. AEM은 별도의 발전된 기…
투과현미경(TEM)의 발전은 입자물리와 전자기학의 발전과 그 궤를 같이 한다. TEM의 근원은 1929년 독일의 Ernst Ruska가 음극관의 연구 중에 직경 0.3mm인 양극 조리개의 영상을 확대시킨 실험에 있다. 이 성과는 초점거리가 작은 전자기 렌즈를 고안할 수 있었기 때문인데, 1925년에 de Broglie의 입자파동이론을 이해하지 못한 채 전자빔으로 물체의 영상을 확대시킬 수 있음을 증명해준 획기적인 사건이었다. 1931년 4월 7일 Ruska는 백금 그리드를 전자빔으로 2단계 확대시켜 영상화하는 데 성공하여 전자빔을 사용한 현미경의 가능성을 처음으로 보여 주었다. 가속전압은 50kV였으며 배율은 13배였다. Ruska가 고안한 최초의 TEM은 두 개의 전자기 렌즈로 물체의 상을 확대시키도록 되어 있어서 현재 상품화된 TEM의 기본 요소를 모두 갖추고 있다. 당시 Ruska와 Max Knoll은 이 장치를 전자현미경이라고 이름하지 않았으나 이 기초적 연구결과로 Ruska는 1986년에 노벨물리학상을 수상하게 된다. 반도체와 전자제어 기술의 발전으로 80년대 이후 분석전자현미경(ATEM:analytical TEM)의 보급이 보편화되었다. AEM은 별도의 발전된 기…
참고문헌
[1] 금동화, 김긍호, 이확주 편저, 투과전자현미경분석학, 청문각, 한국전자현미경학회 (1996)
[2]J.W. Edington, Practical Electron Microscopy in Materials Science, vol.1, McMillan, Phillips Tech. Library (1975)
[3]G.Thomas and M.J. Goringe, Transmission Electron Microscopy of Materials, John Wiley & Sons, New York (1979)
[4]P.R. Buseck, J. M. Cowley and E. Eyring, High Resolution Transmission Electron Microscopy and Associated Techniques, Oxford Univ. Press, New York (1988)
[5]P. Hirsch, A. Howie, R.B. Nicholson, D.W. Pashley and M.J. Whelan, Electron Microscopy of Thin Crystals, Krieger Publications (1977)
[6]J.C.H. Spence, Experimental High Resolution Electron Microscopy, Oxford Univ. Press, Oxford(1981)
[7]이확주, 류현, 허남회, 박용기:한국 전자현미경학회지, 25(4), 124～131(1995)
[2]J.W. Edington, Practical Electron Microscopy in Materials Science, vol.1, McMillan, Phillips Tech. Library (1975)
[3]G.Thomas and M.J. Goringe, Transmission Electron Microscopy of Materials, John Wiley & Sons, New York (1979)
[4]P.R. Buseck, J. M. Cowley and E. Eyring, High Resolution Transmission Electron Microscopy and Associated Techniques, Oxford Univ. Press, New York (1988)
[5]P. Hirsch, A. Howie, R.B. Nicholson, D.W. Pashley and M.J. Whelan, Electron Microscopy of Thin Crystals, Krieger Publications (1977)
[6]J.C.H. Spence, Experimental High Resolution Electron Microscopy, Oxford Univ. Press, Oxford(1981)
[7]이확주, 류현, 허남회, 박용기:한국 전자현미경학회지, 25(4), 124～131(1995)
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I D : hytw****** Date : 2011-08-02 FileNo : 16045007 |
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