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수치해석에 의한 글로우 및 코로나 방전의 특성에 대한 연구

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자료설명

본 논문은 총 6 장으로 구성되어 있으며 비평형 플라즈마에 대한 해석모델과 수치해석 기법에 대해 서술하고, 각 응용 분야에 대한 수치해석 결과를 제시하였다. 제 2 장은 비평형 플라즈마 해석에 필요한 연속방정식과 화학반응식에 대해 서술하였고 수치해석 기법을 소개하였다. 제 3 장은 반도체 식각장치에 사용되는 저압 유도결합 플라즈마에 대한 해석 방법 및 결과를 서술하였다. 제 4 장은 상압 비평형 플라즈마인 코로나 방전에서의 화학반응을 0 차원 모델로 해석하는 기법과 해석 결과를 서술하였다. 제 5장은 2차원 축대칭 모델을 이용한 코로나 방전 초기의 래디칼 생성 특성에 대해 서술하였다. 제 6 장에서는 결론을 서술하였다.

목차/차례

  1. 제 1 장 서론
  2. 제 2 장 플라즈마 수치해석
  3. 2.1 플라즈마 해석식
  4. 2.1.1 플라즈마 유체해석식
  5. 2.1.2 플라즈마 화학반응
  6. 2.2 수치해석 기법
  7. 2.2.1 연속방정식
  8. 2.2.2 Poisson 방정식
  9. 2.2.3 화학 방정식
  10. 2.2.4 계산시간 간격(Δt)
  11. 제 3 장 저압 유도결합 플라즈마 해석
  12. 3.1 해석모델
  13. 3.2 플라즈마 해석
  14. 3.3 전자장 해석
  15. 3.3.1 전자장 해석식
  16. 3.3.2 플라즈마 등가회로의 임피던스 계산
  17. 3.4 해석 결과
  18. 제 4 장 펄스코로나 방전에서의 0차원 화학반응 해석
  19. 4.1 수치해석 모델 및 기법
  20. 4.1.1 펄스 코로나
  21. 4.1.2 화학반응 해석
  22. 4.2 해석 결과
  23. 4.2.1 가스 조성비에 따른 방전특성
  24. 4.2.2 펄스 코로나에 의한 래디칼 생성
  25. 4.2.3 NOx 제거 특성
  26. 제 5 장 정극성 스트리머 코로나 방전 특성
  27. 5.1 코로나 모델
  28. 5.2 해석결과
  29. 5.2.1 평판-평판 모델
  30. 5.2.2 평판-구 모델
  31. 제 6 장 결론

본문/내용

플라즈마 수치해석은 몬테칼로, PIC(Particle In Cell)과 같이 전자장 내에서 각 입자들의 운동방정식을 계산하여 구하는 방법과 유체식을 해석하는 방법으로 나눌 수 있다. 몬테칼로와 PIC는 계산 양이 방대하여 최근의 계산속도 향상에도 불구하고 제한적으로 사용되고 있다. 유체식을 사용하는 방법은 상대적으로 계산 양이 적어 다양한 해석에 사용되고 있다. 특히 대기압에서 발생하는 코로나 방전의 경우 하전입자와 중성기체 간의 충돌주파수가 너무 높아 몬테칼로와 PIC는 아직 사용되지 않고 있다. 본 장에서는 플라즈마 해석에 사용되는 유체 해석식과 화학반응식을 소개하고 각 식들의 수치해석기법을 논의하고자 한다.

2.1 플라즈마 해석식

2.1.1 플라즈마 유체 해석식
플라즈마 유체 해석식은 식(2-1,2)와 같이 기본적으로 각 입자의 연속 방정식(continuity equation)과 Poisson 방정식으로 구성되어 있다. 첨자 a는 전자, 양이온, 음이온들을 나타내며 na는 입자의 밀도, va는 입자의 속도이다. Sa는 전자 또는 광자와 기체입자와의 충돌, 재결합, 화학반응 등을 포함하여 모든 입자의 생성 및 소멸 반응을 나타내는 항이다. 식(2-1)의 va와 Sa를 구하…



📝 Regist Info
I D : osyj*******
Date : 2015-12-19
FileNo : 16034238

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