º»¹®/³»¿ë
ÁÖ»çÀüÀÚ Çö¹Ì°æÀ» ÀÌ¿ëÇÑ À̹ÌÁö °üÂû ½ÇÇè(Àüº¹²®µ¥±â¿Í ¼ÕÅéÀÇ ¹Ì¼¼±¸Á¶)
1. °úÁ¦ÀÇ ¹è°æ
`±×¸² ` ÁÖ»ç ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ(EDSÀåÂø)
SEM(Scanning Electron Microscope)Àº ÁÖ»çÀüÀÚ Çö¹Ì°æÀ¸·Î Àç·áÀÇ ¹Ì¼¼Á¶Á÷°ú Çü»óÀ» °üÂùÇϴµ¥ ¸Å¿ì À¯¿ëÇÏ°Ô »ç¿ëµÇ´Â ºÐ¼®±âÁß ÇϳªÀÌ´Ù. ±âÁ¸ÀÇ ±¤ÇÐÇö¹Ì°æÀº ºÐÇØ´É(Resolution)ÀÌ 0.2 §°¡ ÇѰ迴´Ù. Áï, µÎ Á¡ »çÀ̰¡ 0.2 §º¸´Ù Ŭ °æ¿ì¿¡¸¸ ±¸º°ÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù´Â ¶æÀÌ´Ù. ÀÌ´Â ¿ì¸® Àϻ󿡼´Â ¸Å¿ì ÀÛÀº Å©±âÀÌÁö¸¸ Àç·áÀÇ ¹Ì¼¼±¸Á¶¸¦ °üÂûÇϱ⿡´Â ÃæºÐÇÏÁö ¸øÇÑ ¼º´ÉÀ̱⠶§¹®¿¡ º¸´Ù ÀÛÀº ±¸Á¶¸¦ º¸±â À§Çؼ ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀÌ »ç¿ëµÈ´Ù. ¶ÇÇÑ SEMÀº ±¤ÇÐÇö¹Ì°æ°ú ´Ù¸£°Ô ¹Ì¼¼±¸Á¶¸¦ ÀÔüÀûÀ¸·Î ÃÔ¿µÇÏ´Â °ÍÀÌ °¡´ÉÇϱ⠶§¹®¿¡ ±âÁ¸¿¡ »ç¿ëµÇ´ø ±¤ÇÐÇö¹Ì°æÀ» ÅëÇØ Àç·áÀÇ Ç¥¸éÀ» ÆÄ¾ÇÇÏ´Â °Í º¸´Ù ¸¹Àº Á¤º¸¸¦ ¾ò´Â °ÍÀÌ °¡´ÉÇϱ⠶§¹®¿¡ Àç·á¸¦ ÆÄ¾ÇÇÏ´Â Àç·á°øÇаú¿¡¼ ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ ±â±¸¶ó°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
Àç·á¸¦ ¾Ë¾Æº¸±â À§Çؼ ¹Ì¼¼±¸Á¶¸¦ ÆÄ¾ÇÇÏ´Â °ÍÀº Áß¿äÇÑ ÀÏÀ̱⠶§¹®¿¡ À̹ø SEMÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ¹Ì¼¼±¸Á¶ ÃÔ¿µ ½ÇÇèÀ» ÅëÇÏ¿© ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀÇ »ç¿ë¹ý°ú SEMÀ» ÅëÇØ ÂïÀº À̹ÌÁö¸¦ ºÐ¼®, ÆÄ¾ÇÇÏ´Â ´É·ÂÀ»¡¦(»ý·«)
2. ½ÇÇè ¸ñÀû
3. °ü·Ã ÀÌ·Ð ¹× ¹è°æÁö½Ä
1) Àüº¹²®µ¥±â
2) ¼ÕÅé