1. ½ºÆÛÅÍ
1.1 °³³ä
½ºÆÛÅ͸µ(Sputtering)´Â ÁýÀûȸ·Î »ý»ê¶óÀÎ °øÁ¤¿¡¼ ¸¹ÀÌ ¾²ÀÌ´Â Áø°ø ÁõÂø¹ýÀÇ ÀÏÁ¾À¸·Î ºñ±³Àû ³·Àº Áø°øµµ¿¡¼ ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ÂÈµÈ ¾Æ¸£°ïµîÀÇ °¡½º¸¦ °¡¼ÓÇÏ¿© Ÿ°Ù¿¡ Ãæµ¹. ¿øÀÚ¸¦ ºÐÃâ½ÃÄÑ ¿þÀÌÆÛ ±âÆÇ»ó¿¡ ¸·À» ¸¸µå´Â ¹æ¹ýÀ» ¶æÇÑ´Ù. ½ºÆÛÅ͸µ Àåºñ¿¡¼´Â Ÿ°ÙÂÊÀ» À½±Ø(Cathode)·Î ÇÏ°í ±âÆÇÂÊÀ» ¾ç±Ø(Anode)·Î ÇÑ´Ù. ½ºÆÛÅ͸µ °øÁ¤À» ÁøÇàÇÏ´Â Àåºñ¸¦ ½ºÆÛÅͶó ÇÑ´Ù.
ÀϹÝÀûÀÎ ½ºÆÛÅ͸µ ½Ã½ºÅÛ¸ÕÀú è¹ö¸¦ Áø°ø¿¡ °¡±õ°Ô ¸¸µç ÈÄ¿¡ ³·Àº ¾Ð·ÂÀÇ ¾Æ¸£°ïÀ» è¹ö ³»·Î Èê·ÁÁØ´Ù. Àü±Ø¿¡ Àü¾ÐÀ» °¡Çϸé Ar+°¡ ÀÌ¿Âȵǰí, Ç÷¹ÀÌÆ® °£¿¡ ÇöóÁ°¡ ¹ß»ýÇÑ´Ù. ¼Ò½º ¹°Áú·Î µ¤¿© ÀÖ´Â Ç÷¹ÀÌÆ®´Â ±âÆǺ¸´Ù À½ÀüÀ§·Î À¯ÁöµÇ¹Ç·Î, ¾Æ¸£°ïÀº ¼Ò½º ¹°ÁúÀÌ µ¤ÀÎ Ç÷¹ÀÌÆ®·Î °¡¼Ó ÈÄ Ãæµ¹µÇ°í, ¼Ò½º¿øÀÚ¿Í ºÐÀÚµéÀº Ç÷¹ÀÌÆ®¿¡¼ ¹æÃâµÇ¾î ¿þÀÌÆÛ·Î ³¯¾Æ°¡ ÁõÂøÀÌ µÈ´Ù. ±âÆÇ À§¿¡ ºÙÀº ¹°ÁúÀÌ ¼ºÀåÇÏ°Ô µÇ¾î ¸¸µé¾îÁø °ÍÀ» ¹Ú¸·À̶ó°í ÇÑ´Ù. ½ºÆÛÅ͸µ ¹æ½ÄÀº Áõ·ù¹ýº¸´Ù ÁõÂø ´É·Â, º¹ÀâÇÑ ÇÕ±ÝÀ» À¯ÁöÇÏ´Â ´É·ÂÀÌ ¶Ù¾î³ª°í, °í¿Â¿¡¼ ³»¿¼º ±Ý¼ÓÀÇ ÁõÂø ´É·ÂÀÌ ¶Ù¾î³ Ư¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ½ºÆÛÅ͸µ °øÁ¤ÀÇ ¼öÀ²Àº Ãæµ¹ ÀÌ¿ÂÀÇ ÀԻ簢¡¦(»ý·«)
1.2 ¿ø¸®
1.3 ÁõÂø ¹æ¹ý
|