전기공학 실험 - 면저항 실험(4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정)

1.실험목적

면저항(Sheet Resistance)의 개념을 이해하고 4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정하고 측정값과 이론값을 비교한다.

2.문제

면저항의 정의
:비저항, R:전체 저항
:면저항(Sheet resistance)
,
전체저항은 크기에 영향을 받기 때문에 저항을 비교하기 위해서는 크기를 통일한다.
한 변의 길이가 1cm인 정육면체를 표준으로 한다.
비저항 은 단위면적당 단위길이당 저항을 말한다.
여기서 전체저항과 면저항을 구분하기 위해 /을 한다. 이는 물리적 의미는 없다.
비저항 은 물질마다 고유의 값을 가지고 있다.
Van der pauw’s method
Van der pauw’s method은 비저항 측정 방법이다.
t : 두께 , f(r) : 비율의 함수
실험을 준비하는데 있어 시편 준비 등 일이 많아 4 point probe를 사용한다.Van der pauw’s method은 4 point probe에 비하여 박막의 면저항 측정에 많이 사용되진 않지만 국부면이 아닌 전체면에 대하여 비교적 간단하게 측정할 수 있으며, 측정 탐침은 최외곽 가장자리 위치에서만 사용하므로 비교적 4 point prob…(생략)

3. 실험결과

4 point probe의 보정계수는 4.53이고 전류범위는 auto로 설정해 놨는데 이때 전류의 범위를 잘못 측정하면 재료가 탈 수 도 있다.