1.½ÇÇè ¸ñÀû
Àúź¼Ò°À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ±Ý¼Ó ¼ÒÀçÀÇ ¹Ì¼¼±¸Á¶¸¦ °üÂûÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ½ÀµæÇÑ´Ù.
2.ÀÌ·ÐÀû ¹è°æ
1)etching : ±Ý¼ÓÇ¥¸éÀÇ Ä§½ÄÀÛ¿ë¿¡ ÀÇ°Å ±Ý¼ÓÀ» ±× Ç¥¸éÀ¸·ÎºÎÅÍ ºÐ¸® Á¦°ÅÇϴ ó¸®±â¼úÀ» etching À̶ó°í ÇÑ´Ù. Áï, ±Ý¼ÓÀç·á¸¦ Àü±â ¹°¸®Àû ¶Ç´Â ÈÇпëÇØ ÀÛ¿ëÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ±Ý¼Ó ÀϺκÐÀ» ħ½ÄÁ¦°Å ÇÏ´Â °ÍÀ» ¸»ÇÑ´Ù. ´Ü»ó °áÁ¤¸³ÀÇ ÈÇÐÀûÀÎ ¹ÝÀÀÀº °áÁ¤ÇÐÀû ¹æÀ§¿¡ µû¶ó Â÷ÀÌ°¡ ÀÖ¾î etching ÈÄ grain boundaryÀ» Áï ÀÛÀº Ȩ(groove)¸¦ °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
1-1) wet etching : ±Ý¼Óµî°ú ¹ÝÀÀÇÏ¿© ºÎ½Ä½ÃÅ°´Â »ê°è¿ÀÇ ÈÇÐ ¾àÇ°À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© thin flim layerÀÇ ³ëÃâµÇ¾î ÀÖ´Â ºÎºÐÀ» ³ì¿© ¾ø¾Ö´Â °ÍÀÌ´Ù.
1-2) dry etching : ionÀ» °¡¼Ó½ÃÄÑ ³ëÃâ ºÎÀ§ÀÇ ¹°ÁúÀ» ¶¼¾î³¿À¸·Î½á patternÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °ÍÀ» ¸»ÇÑ´Ù. ¶Ç´Â, wet etching¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ÈÇÐ ¾àÇ°À» »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê°í ±âü ÇöóÁ¿¡ ÀÇÇÑ ¹ÝÀÀÀ» ÀÌ¿ëÇÑ etching °øÁ¤À» ÀǹÌÇÑ´Ù.
2)±¤ÇÐÇö¹Ì°æ(optical microscopy) : ¹°Ã¼ÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ ºÎºÐÀ» È®´ëÇÏ¿© °üÂûÇÏ´Â ±¤ÇÐ ÀåÄ¡·Î Ç¥º»À» Àç¹°´ë¿¡ ¿Ã·Á³õ°í Áý±¤ ÀåÄ¡·Î ºû(°¡½Ã±¤¼±)À» ºñÃß¸é ±× Ç¥º»À» Åë°úÇÑ ºûÀÌ¡¦(»ý·«)
3. ½ÇÇè¹æ¹ý
1) ¹Ì¼¼±¸Á¶ °üÂû¿ë ½ÃÆí(ö±Ù)À» ÁغñÇÑ´Ù.
2) ÁغñÇÑ °üÂû¿ë ½ÃÆÝÀ» ¿øÇÏ´Â Å©±â·Î sectioning or cutting ÇÏ¿© Àý´ÜÇÑ´Ù.
3) ¿ °¡¼Ò¼º ¼öÁöÀÎ acrylic ¼öÁö¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© hot comporession mountingÇÏ¿© ,ÀÛ¾÷ÀÌ ¿øÈ°Çϵµ·Ï Àû´çÇÑ Å©±â·Î Á¦Á¶ÇÑ´Ù.
4) Àý´ÜÀÛ¾÷¿¡¼ ¹ß»ýµÇ´Â ¼Õ»óÀ» Á¦°ÅÇϱâ À§ÇÑ Áß¿äÇÑ ½ÃÆí ÀÛ¾÷À¸·Î 60meshºÎÅÍ 2000meshÀÇ sand paper(»çÆ÷)¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.
5) grinding ÈÄ ½ÃÆíÀÇ °í ¹Ý»çµµ, scratchÁ¦°Å, ½ÃÆíÀÇ ÆíÆòµµ¸¦ À¯ÁöÇϱâ À§ÇÏ¿© polishingÀ» ÇÑ´Ù. ÁÖÀÇ»çÇ×À¸·Î grinding¿µ¿µ°ú ºÐ¸®µÇ¾î Àִ ûÁ¤¿µ¿ª¿¡¼ ÁøÇàµÇ¾î¾ß ÇÏ°í polishingÀº °¡±ÞÀû ºü¸¥ ½Ã°£¿¡ ³¡³»¾ßÇÑ´Ù.
6) ½ÃÆí Ç¥¸éÀÇ polishing ÀÜ¿©¹°°ú ¿¬¸¶À縦 Á¦°ÅÇϱâ À§ÇØ ¼¼Ã´ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ÃÖÁ¾ polishing ´Ü°è°¡ ³¡³ Á÷ÈÄ Áï½Ã ½Ç½ÃÇϸç, diamond sispension°ú °°ÀÌ ¹Ì¼¼ÇÑ ÀÔÀÚ¿¡ ´ëÇؼ´Â polishing pad »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ½ÃÆí, holder ¹× ±× ÁÖº¯À» 10~15ÃÊ µ¿¾È Áõ·ù¼ö·Î ¼¼Ã´ÇÑ´Ù. °ÇÁ¶´Ü°è¿¡¼´Â ÃÊÀ½ÆÄ ¼¼Ã´Á¦ ¶Ç´Â ¾ËÄÚ¿ÃÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ´ÛÀº ÈÄ °ÇÁ¶ÇÏ¸é ¹°º¸´Ù È¿°úÀûÀÎ °ÇÁ¶ È¿°ú°¡ ÀÖ´Ù.
7) ½ÃÆíÀÇ ºÎ½ÄÀ» ÅëÇØ ±¤ÇÐÀûÀ¸·Î grain Å©±â, »ó µîÀÇ ¹Ì¼¼Á¶Á÷À» °üÂûÇϱâ À§ÇØ etchingÀ̶õ °úÁ¤À» ÀÌ·ç¾î¾ß ÇÑ´Ù. etchingÀº ÈÇÐÁ¶¼º, ÀÀ·Â, °áÁ¤±¸Á¶ µî¿¡ µû¶ó ¹æ¹ýÀÌ ´Ù¸¥µ¥ º» ½ÇÇè¿¡¼ »ç¿ëÇÑ etching ¹æ¹ýÀº °¡Àå ÀϹÝÀûÀÎ ÈÇÐ ºÎ½Ä¹æ¹ýÀÎ NitalÀ» »ç¿ëÇÏ¿´´Ù.
8)¸¶Áö¸·À¸·Î ¹Ì¼¼Á¶Á÷ ÃÔ¿µ¿¡´Â ÀϹÝÀûÀÎ ¹æ¹ýÀÎ ±¤ÇÐ Çö¹Ì°æ(optical microscopy)À» »ç¿ëÇÏ¿© Á¶Á÷ÀÇ ºÎÇÇ ºÐÀ², Å©±â ¹× °£°Ý, ºÐÆ÷ »óÅ µîÀ» °áÁ¤ÇÑ´Ù.
4. ½ÇÇè °á°ú
|