[공학] 진공물리 및 진공 기술 - 진공에 대한 분류 및 종류

진공물리 및 진공 기술 - 진공에 대한 분류 및 종류
목 차

1. 진공 펌프의 분류

2. Positive displacement 펌프

3. Entrapment 펌프

4. 그밖의 펌프

참고문헌
진공은 공간의 기체압력이 대기압보다 낮은 상태, 즉 분자밀도가 약 2.5×1xxx 분자/cm3 보다 적은 상태를 의미한다. 지상으로부터 고도에 따른 진공도의 비교는 아래 그림과 같다.
진공을 응용하기 위해서는 지상에 인위적인 진공을 발생시키고 제어해야 한다. 이런 진공기술의 요소는 발생기술, 재료기술, 가공 및 부품기술, 평가 및 제어기술로 대별되며 이 네 가지 요소가 합쳐져서 진공 응용기술이 성립된다.
진공은 다음과 같은 특성이 있으므로 전 과학기술 분야와 산업분야에서 진공기술이 응용되고 있다.
압력 차에 의한 힘의 발생, 극청정 환경 제공, 단열효과, 입자의 장거리 비행가능, 증발과 승화작용, 안정된 플라즈마를 유지, 생화학 반응 억제, 우주환경 제공 등의 특성이 있다.
진공기술의 응용범위는 전 산업에 걸쳐 있으며 반도체의 집적도가 높아지고 양자소자 개발 등 첨단기술이 발전하면서 그 중…(생략)