[실험결과] 반도체 공정 실험 report 2

1. 실험목적

- Pumping System의 작동 원리를 알아 본다.

2. 실험 장비 모습

간단하게 꾸민 pumping system
저진공펌프(로터리 펌프) 고진공펌프(터보펌프)

3. 작동 원리

실험실에서 사용하는 고진공 펌프의 종류에는 Turbo Pump, Cryo Pump, Diffusion Pump 3가지가 있다.
Pumping System에서 기본 적으로 필요한 장비들은 저진공Pump와 고진공Pump 그리고 4개의 벨브단이 필요하다. Pumping System그림에 보이는 4개의 벨브는 모두 수동이다.
로터리 Pump를 작동시키면 진공도가 떨어지게 된다.
진공도가 떨어지고 있는 모습(아래 위로 저진공 게이지 두 개가 표시된다.)
게이지
- 그림에서 윗쪽에 표시된 저진공 게이지 : 컴팩트런 게이지1 (Pump진공이 얼마나 빠지나를 측정하는 게이지)
- 그림에서 아래쪽에 표시된 저진공 게이지 : 컴팩트런 게이지2 (Chamber진공을 확인하는)
이 게이지는 러핑밸브를 지난 후 연결되어 있다. Pump와 Chamber 두 곳의 진공을 모두 확인 해야 한다.
로터리 펌프를 작동시킬 때 세 개의 밸브는 모두 잠겨 있는 상태이다.

1) Pump의 작동

Chamber내 저진공을 만들기 위해 제일 처음 열어야할 밸브는 러핑 밸브이다.
터보 펌프는 메인 밸브를 열어야 Pumping을 하게 되어 있다. (위의 두 가지가 나눠져 있는 이유는 저진공Pump와 고진공 Pump가 나눠져 있기 때문이다.) 러핑 밸브를 열게 되면 Pump System 내에 공기가 채워져 있으므로 컴팩트런 게이지가 다시 증가하게 된다. 이것은 Chamber내에 공기가 빠지고 있다는 것이다.
컴팩트런 …

2) 펌프를 끌 때