¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤
(wafer fabrication)
¸ñÂ÷
1. ¹ÝµµÃ¼¶õ
2. ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±âº»ÀÌ µÇ´Â Æ®·£Áö½ºÅÍ, ±× Áß ´ë¼¼ÀÎ MOSFET
3. Ç®³ëµå¿Í ÇÏÇÁ³ëµå
4. °øÁ¤¿¡¼ ĨÀÇ Å©±â¸¦ ÁÙÀÌ·Á´Â ÀÌÀ¯
5. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àç·á¿Í Àåºñ
6. ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ¿ë¾î
7. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¿ä¾à
8. ±¸Ã¼ÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤
1. ¹ÝµµÃ¼¶õ
Àü±âÀüµµµµ¿¡ µû¶ó ¹°ÁúÀ» ºÐ·ùÇϸé Å©°Ô µµÃ¼, ¹ÝµµÃ¼, ºÎµµÃ¼·Î ³ª´¶´Ù. ¹ÝµµÃ¼´Â ¼ø¼öÇÑ »óÅ¿¡¼ ºÎµµÃ¼¿Í ºñ½ÁÇÑ Æ¯¼ºÀ» º¸ÀÌÁö¸¸ ºÒ¼ø¹°ÀÇ Ã·°¡¿¡ ÀÇÇØ Àü±âÀüµµµµ°¡ ´Ã¾î³ª±âµµ ÇÏ°í ºûÀ̳ª ¿¿¡³ÊÁö¿¡ ÀÇÇØ ÀϽÃÀûÀ¸·Î Àü±âÀüµµ¼ºÀ» °®±âµµ ÇÑ´Ù.
ÁÖ±âÀ²Ç¥»ó¿¡ 14Á·¿¡ À§Ä¡ÇÏ´Â Àú¸Ó´½(Ge), ½Ç¸®ÄÜ(Si) µîÀÌ ´ëÇ¥ÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ÀÌ´Ù. ÃÊâ±â¿¡´Â Àú¸Ó´½ÀÌ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ¾úÁö¸¸ ÇöÀç´Â ½Ç¸®ÄÜ¿¡ 13Á·ÀÇ ºØ¼Ò(B)³ª 15Á·ÀÇ ÀÎ(P)µîÀ» ÷°¡ÇÏ¿© »ç¿ëÇÑ´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â 13Á·°ú 15Á·ÀÇ ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼°¡ ¾²À̱⵵ ÇÏ¸ç °¥·ýºñ¼Ò(GaAs;gallium arsenide) ³ª ÀεãÀÎ(InP;indium phospide) µîÀÌ ÀÖ´Ù.
¼ø¼öÇÑ ¹ÝµµÃ¼´Â 14Á· ¿ø¼Ò·Î ÀÌ·ç¾îÁ® ¸ðµç ÀüÀÚ°¡ °øÀ¯°áÇÕÀ» ÀÌ·é´Ù¡¦(»ý·«)
|
¼