º»¹®/³»¿ë
1. ½ÇÇè ¸ñÀû X¼± ȸÀýºÐ¼®¿¡ ´ëÇØ ¾Ë¾Æº¸°í ½ÇÇèÀ» ÅëÇØ ÀÍÈù´Ù.
2. ½ÇÇè ÀÌ·Ð2.1 XRD
XRD(X-ray Diffractometer)´Â °í¼ÓÀÇ ÀüÀÚ°¡ target ¿øÀÚ¿Í Ãæµ¹ÇÏ¿© ¹ß»ý ½ÃŲ Ư¼º X¼±À» »ç¿ëÇÏ¿© ½Ã·á¸¦ ºÐ¼®ÇÏ´Â ÀåÄ¡¸¦ ¸»ÇÑ´Ù. XRD¿¡ »ç¿ë µÇ´Â Ư¼º X¼±Àº ÀÔ»çµÇ´Â °í¼ÓÀÇ ÀüÀÚ°¡ target ¿øÀÚÀÇ ³»°¢ ÀüÀÚ¸¦ ¿©±â ½ÃŰ¸é ¿Ü°¢ÀÇ ÀüÀÚ°¡ ³»°¢¿¡ ÀÖ´Â ºóÀÚ¸®¸¦ ä¿ï ¶§ ÀüÀÌµÈ ÀüÀÚÀÇ ¿¡³ÊÁö ÁØÀ§ Â÷À̸¸ÅÀÇ ¿¡³ÊÁö¸¦ °¡Áö´Â X-¼±À» ÀǹÌÇÑ´Ù. Ư¼º X¼±Àº target ¹°Áú¿¡ µû¶ó °íÀ¯ÀÇ ÆÄÀåÀ» °¡Áö¹Ç·Î XRD ºÐ¼®¿¡ ÀÌ¿ëµÈ´Ù.
±×¸² 1. Ư¼º X-¼±À» ¹ß»ý½Ã۱â À§ÇÑ K°¢, L°¢, M°¢¿¡¼ÀÇ ÀüÀÚ ÀüÀÌ
XRD ºÐ¼®ÀÇ ±âº» ¿ø¸®´Â Bragg`s lawÀÌ´Ù. ºê·¡±× ¹ýÄ¢Àº X-¼± ÆÄÀå°ú ¿øÀÚ ¸é°£°Å¸®¿ÍÀÇ °ü°è¸¦ ³ªÅ¸³½´Ù. ¿øÀÚ´Â X-¼±À» »ê¶õ½Ãų ¼ö ÀÖ°í, ¿øÀÚµéÀÌ ¸¹ÀÌ ÀÖ´Â °æ¿ì ¸ðµç ¿øÀڷκÎÅÍ »ê¶õµÈ ÆÄµéÀÌ ¼·Î °£¼·À» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¸¸¾à »ê¶õÇÏ´Â ÆÄ°¡ À§»óÀÌ ÀÏÄ¡ÇÑ´Ù¸é ÆÄµéÀº º¸°°£¼·À» ÀÏÀ¸ÄÑ Æ¯Á¤ÇÑ ¹æÇâÀ¸·Î °ÇÑ È¸Àý¼±ÀÌ »ý¼ºµÈ´Ù. ÀÌ È¸Àý¼±ÀÇ ¹æÇâÀº ÀԻ缱ÀÇ ÆÄÀå°ú °áÁ¤Áú ½Ã·á Ư¼º¿¡ ÀÇÇØ Á¿ìµÈ´Ù.
¸é°£°Å¸®´Â d¶ó°í Çϰí X¼±ÀÇ ¡¦(»ý·«)
ÀÌ µÈ´Ù. µÎ »ê¶õÆÄ »çÀÌÀÇ °æ·ÎÂ÷ 2dSin¥è°¡ ÆÄÀåÀÇ Á¤¼ö¹è°¡ µÇ¾î¾ß º¸°°£¼·ÀÌ ÀϾ±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. 2.2 Hanawalt method¿Í JCPDS Ä«µå XRD¸¦ ÅëÇØ ¾òÀº ¹ÌÁö½Ã·áÀÇ ºÐ¸» ȸÀýÆÐÅÏÀº Àç·áÀÇ Á¤È®ÇÑ ¿øÀڹ迿¡ ÀÇÇØ °áÁ¤µÇ¹Ç·Î Àç·áÀÇ Áö¹®°ú °°´Ù. Áï, °°Àº ¹°Áú¿¡¼´Â Ç×»ó °°Àº ȸÀý ÆÐÅÏÀÌ ³ªÅ¸³´Ù. À̸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¹ÌÁö½Ã·á¸¦ ¾Ë¾Æ³»´Â °ÍÀÌ Hanawalt methodÀÌ´Ù. ¹ÌÁö Àç·áÀÇ È¸ÀýÆÐÅÏÀ» ¾òÀº ´ÙÀ½, ÀÌ¹Ì ¼öÁýµÈ ÆÐÅÏ Á¤º¸ÀÎ ºÐ¸»È¸ÀýÆÄÀÏ(PDF)ÅëÇØ ¹ÌÁö½Ã·á¸¦ ±Ô¸íÇÑ´Ù.
¨ç ȸÀý±â·ÏÆÐÅÏ Áß¿¡ °µµ°¡ °ÇÑ ¼øÀ¸·Î ¼¼ °³ÀÇ È¸Àý¼±À» È®ÀÎÇÏ¿© d©û, d©ü, d©ý·Î ³ªÅ¸³½´Ù.
¨è Hanawalt Ž»öÆí¶÷¿¡¼ d©û, d©ü, d©ý°ªÀÌ Àß ¸Â´Â °Í ãÀº ÈÄ ±×°ÍµéÀÇ »ó´ëÀûºÐ °µµÇ¥¿¡ Á¤¸®µÇ¾î ÀÖ´Â °ªÀ» ºñ±³ÇÑ´Ù.
¨é °üÂûµÈ ÆÐÅÏÀ¸·Î ¾òÀº ¼¼ °³ÀÇ °¡Àå °ÇÑ È¸Àý¼±¿¡ ´ëÇÑ »ó´ë°µµ °ª°ú d°ªÀÌ Æí¶÷¿¡ ³ªÅ¸³ªÀÖ´Â °Í°ú ÀÏÄ¡Çϸé, JCPDS Ä«µå¸¦ ³õ°í ¸ðµç ȸÀý¿¡ ´ëÇÑ d°ª°ú »ó´ë°µµ °ªÀ» ºñ±³ÇÑ´Ù. ¿ÏÀüÈ÷ ÀÏÄ¡Çϸé, ¹ÌÁö ½Ã·áÀÇ ±Ô¸íÀÌ ³¡³´Ù.
4. ½ÇÇè ¹æ¹ý4.1 ½Ã·á Á¦ÀÛ