º»¹®/³»¿ë
1.½ÇÇè ¹æ¹ý
¨ç ¸ðµç ¹ëºê°¡ Àá°ÜÀÖ´ÂÁö È®ÀÎÇÑ´Ù.
¨èÁõÂø½ÃŰ·Á´Â ¼Ò½º¸¦ öÆÇ À§¿¡ ÀÛÀº ½Ã¾à ½ºÇ¬À¸·Î ÇÑ ½ºÇ¬ ¿Ã·Á³õ´Â´Ù.
¨é ¼ÅÅ͸¦ ´ÝÀº »óÅ¿¡¼ ½½¶óÀ̵带 ³¢¿î´Ù.
¨ê Rotary Pump Switch¸¦ ONÀ¸·Î ÇÑ´Ù.
¨ë Rough Valve¸¦ Ç®¾îÁØ´Ù.
¨ì Áø°øÀÇ Á¤µµ¸¦ ±îÁö (Tube ¾ÈÀÌ ¹«»öÀÌ µÉ ¶§) È®ÀÎÇÑ´Ù.
¨í Rough Valve¸¦ Àá±×°í, Foreline Valve¸¦ ¿¬ ÈÄ, Diffusion Pump¸¦ ONÀ¸·Î ÇÑ´Ù.
´Ù.
¨î Foreline Valve¸¦ Ç®¾î ¿ÏÀüÈ÷ ¿¾îÁØ´Ù.
¨ï Diffusion Pump¸¦ ÄÑÁØ ÈÄ µû¶æÇØ Áú ¶§±îÁö (°¡¿µÈ ±â¸§ÀÌ È®»ê µÉ ¶§ ±îÁö) ±â´Ù¸®´Ù°¡ µû¶æÇØÁö¸é ±× ¶§ Main Valve¸¦ ¿¾îÁØ´Ù.
¨ð Áø°øµµ¸¦ À̿°ÔÀÌÁö¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¼ö½Ã·Î È®ÀÎÇØ ÁÖ¸é¼ ±â´Ù¸°´Ù.
¨ñ À̿°ÔÀÌÁö »ó¿¡ Á¤µµÀÇ Áø°øµµ¸¦ È®ÀÎÇÏ°Ô µÇ¸é ¼ÅÅ͸¦ ¿¾îÁØ´Ù.
¨ò ÅÖ½ºÅÙ º¸Æ®¿¡ Àü·ù¸¦ Èê·ÁÁÖ¾î ÁõÂøÀÌ ½ÃÀÛµÇ°Ô ÇÑ´Ù.
¨ó ÁõÂøÀÌ ³¡³ª¸é ¼¼È÷ Àü·ù¸¦ Â÷´ÜÇϰí Main Valve¸¦ Àá±Ù´Ù. ±×¸®°í Leak Valve¸¦ ¿¾î °ø±â¸¦ ÁÖÀÔÇÑ´Ù.
¨ô Diffusion Pump°¡ ³Ã°¢µÇ¸é Forel¡¦(»ý·«)
2.½ÇÇè °á°ú
3.¶Ç ´Ù¸¥ ÁõÂø ¹æ¹ý