증착결과 보고서

1.실험 방법

① 모든 밸브가 잠겨있는지 확인한다.

②증착시키려는 소스를 철판 위에 작은 시약 스푼으로 한 스푼 올려놓는다.

③ 셔터를 닫은 상태에서 슬라이드를 끼운다.

④ Rotary Pump Switch를 ON으로 한다.

⑤ Rough Valve를 풀어준다.

⑥ 진공의 정도를 까지 (Tube 안이 무색이 될 때) 확인한다.

⑦ Rough Valve를 잠그고, Foreline Valve를 연 후, Diffusion Pump를 ON으로 한다.

다.

⑧ Foreline Valve를 풀어 완전히 열어준다.

⑨ Diffusion Pump를 켜준 후 따뜻해 질 때까지 (가열된 기름이 확산 될 때 까지) 기다리다가 따뜻해지면 그 때 Main Valve를 열어준다.

⑩ 진공도를 이온게이지를 이용하여 수시로 확인해 주면서 기다린다.

⑪ 이온게이지 상에 정도의 진공도를 확인하게 되면 셔터를 열어준다.

⑫ 텅스텐 보트에 전류를 흘려주어 증착이 시작되게 한다.
⑬ 증착이 끝나면 서서히 전류를 차단하고 Main Valve를 잠근다. 그리고 Leak Valve를 열어 공기를 주입한다.
⑭ Diffusion Pump가 냉각되면 Foreline Valve를 잠근다. 그리고 Rotary Pump Switch를 OFF로 하고, Main Switch도 OFF로 한다.
⑮ 다시 Chamber 내의 공기를 빼내 진공상태를 만들어 기계의 수명을 유지하도록 한다.

2.실험 결과

1.성공적으로 기판에 증착된 모습↑
2.증착률에 관한 수식
증발원으로부터 증발된 분자들은 기판에 증착되기 전에 어떤 방향성(directionality)을 …

이므로,

3.또 다른 증착 방법