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본문/내용
_SLIDE_1_
소재공정실험
PVD 와 CVD
PVD 와 CVD
PVD 와 CVD
Thin film Process and analysis
Thin film Process and analysis
Thin film Process and analysis
_SLIDE_2_
구 성
원리 및 종류 그리고 특징
1
PVD
원리 및 종류 그리고 특징
2
CVD
2/16
_SLIDE_3_
Thin Film Application
_SLIDE_4_
Thin Film
부피대비 표면적 비율이 높은 막을 의미하며 ㎚ ~ ㎛ 단위를 지닌다.
막
박
_SLIDE_5_
Physical Vapor Deposition
진공 중에서 금속을 기화시켜 기판에 증착.
vaporation
E

1. 증착 하려는 source material을 도가니에 넣고 가열.

2. Source material이 기체상태가 되어 기판의 표면에 충돌.

3. 충돌된 기체상태의 금속원자가 기판에 증착됨.

Hermal Evaporation
T
-beam Evaporation
E
_SLIDE_6_
Physical Vapor Deposition
높은 에너지를 갖는 미립자들에 의한 충돌에 의해…(생략)



📝 Regist Info
I D : leew*****
Date : 2013-02-23
FileNo : 11055996

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