바이오나노학부 나노 공학실험 레포트 spin coating

나노 공학실험 레포트
Spin Coating
바이오나노학부

1. Introduction

-Spin coating은 전자 제품 소자에 많이 사용이 된다. Coating할 material을 Wafer위에 떨어뜨리고 고속으로 회전을 시키면 nm단위로 얇게 펴지면서 coating이 된다. 이번 실험에서는 Wafer을 사용하지 않고 슬라이드 글라스를 사용했다. PMMA(Poly Methyl Methacrylate)를 농도 및 회전속도에 따라 분류하여 Thickness가 어떻게 달라지는 지 알아보았다.

2. 실험 이론

-Spin coating의 원리는 원심력이다. material이 wafer위에 올라있는 채로 Spin coating 기계를 rpm을 설정한 후 wafer와 기계 사이에 진공을 잡아 wafer를 고정시킨다. 그 후 기계를 작동시키면 material이 원심력으로 인해 바깥으로 뻗어나간다. 전방위로 뻗어나간 material이 wafer를 coating한다.
두께를 측정하는 방법에는 UV/Visible Spectroscopy와 α-step 2가지로 나눌 수 있다.
첫째 UV/Visible Spectroscopy 는 유/무기 화합물의 정량, 임상실험 등에 널리 쓰이는 분석기기이며, 화합물의 구조를 밝히는데도 어느 정도의 정보를 제공하지만, 구조의 파악보다는…(생략)

① ②

3. Materials and Method.

①슬라이드 글라스 2개를 다이아몬드 칼을 이용하여 8조각으로 나눈다.

②8조각의 슬라이드 글라스에 번호를 표시한 후 각 번호에 따라 조건을 설정한다. 이번 실험에서 조건은 1~4까지는 속도를 변수로 잡았다. 번호순서대로 1000rpm, 3000rpm, 5000rpm, 7000rpm 이고 시간은 1분 농도는 10%이다. 5~8까지는 농도를 변수로 잡았다. 번호순서대로 4%, 6%, 8%, 10