Name: 전자총 - 올레포트
SKU: 11041733
Price: 2000 KRW
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전자총[ 전자총에서의 전자생성과 전자가 시료에 도달하기까지].pptx [Size : 1 Mbyte ]

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본문/내용

_SLIDE_1_
전자총에서의 전자생성과
전자가 시료에 도달하기까지
_SLIDE_2_
전자총
렌즈
조리개 (Aperature)
축조정 코일
주사 코일
비점수차 보정 코일(Stigmator)
진공계
목차
_SLIDE_3_
전자총이란?
전자총의 역할은 전자를 만들고 가속시키는 역할을 한다. 전자총은 전자선(electron ray)의 형태로 사용되는 안정된 전자원을 공급한다. 충분한 양의 이차전자를 생산할 수 있을 만큼 많은 양의 1차 전자를 만들되, 자기렌즈에 의해서 작은 빔을 효과적으로 형성하도록 고안되어 있다.
SEM 전자총의 종류
열방사형
(thermionic electron gun)
전계방사형
(field emission electron gun)
_SLIDE_4_
열방사형(thermionic electron gun)
열방사형(thermal emission)의 경우 음극은 주로 텅스텐으로 약 100㎛ 직경의 선 필라멘트로서 끝이 V자 모양을 가진 머리핀 모양으로 구부러져 있다, 텅스텐은 일함수 값이 4.5 eV로 크지 않고, 융점은 3,650K로 매우 높기 때문에 필라멘트로 많이 사용되며, 일반적으로 필라멘트에 직접 전류를 가하여 약 2,700K까지 가열한다.
wehnelt cylinder에 마이어스 전압이 가해지면 wehnelt cylinder는 음극인 필라멘트보다 더 마이너스 전압을 띠게 되고, 이로 인해 필라멘트에서 방출된 전자는 척력을 받게 되어 가운데로 집속된다. 음극인 필라멘트와 양극판 사이에 가해지는 전압을 가속전압이라고 하는데 이에 의해 필라멘트에서 방출된 전자가 가속되어 아래 방향으로 방사되면서 전자빔을 형성하게 된다.
_SLIDE_5_
…

(a) 600㎛

사되어 집속렌즈에 들어가는 전자선이 어긋나게 된다. 이는 렌즈의 수차발생의 원인이 되며 분해능을 떨어뜨리게 된다. 이때 전자총의 음극 바로 밑에서 전극 코일을 통해 X-Y축 방향으로 적당량을 편향하여 집속렌즈의 축에 일치시킨다.

(a) 600㎛
(a) 200㎛
(a) 100㎛
대물렌즈 조리개의 조정에 따른 이미지 변화
_SLIDE_8_
비점수차 보정 코일(Stigmator)
컬럼의 오염이나 전자기장 또는 광학계의 미세한 결함에 의해 spot의 형태가 왜곡될 수 있으며, 그 결과 초점이 맞지 않게 되어 해상도를 떨어뜨리게 된다. 이를 보정하는 코일을 비점수차 보정 코일(stigmater)이라 하며, 전류를 적절하게 조절하여 보완하는 방법이다
주사 코일
주사 코일은 집속렌즈와 대물렌즈 사이에 위치하여 전자빔을 대물렌즈
중심의 한 점에 편향시키는 역할을 한다.

_SLIDE_9_
진공계
전자 현미경에서는 10-5 torr 이상의 고진공이 사용하므로 대체로 유회전 펌프(rotary vacuum pump)와 유확산 펌프(oil diffusion pump)를 직렬연결 사용한다. 유확산 펌프는 저렴하고 진 동이 거의 없으며 유지보수가 쉽기 때문에 널리 이용되고 있으나 오일을 높은 온도로 가열하기 때문에 냉각수를 필요하고, 오일 증기의 역유입(back streaming) 현상으로 경통 내부를 오염 시킬 우려가 있기 때문에 개폐밸브의 자동 차단기능이 필수적으로 요구된다. 유확산 펌프는 최 고 10-8 torr 정도의 진공을 유지할 수 있으므로 유확산 펌프 진공계는 주사현미경에서 가장 많 이 채택되고 있다

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전자현미경에서 내부를 진공으로 만드는 이유는?

전자는 질량을 가진 입자이므로 운동 방향에 다른 입자가 있으면 충돌한다. 전자 현미경의 경우 전자가 나오는 필라멘트에서 시료까지의 거리는 약 1미터다. 전자가 공기 분자와 충돌하지 않고 1미터를 날아가게 하려면 전자 현미경 안의 공기를 빼서 진공으로 만들어야

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I D : leew*****
Date : 2012-04-12
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