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자료설명

[판매중지] 구매회원요청 판매중지(사유) : 일부문제에 해답이 적혀있지않습니다. -------> [솔루션] MEMS의 기초(Foundations of MEMS, Chang Liu) 연습문제 솔루션 입니다. 총 1장부터 16장 까지 있습니다! 공부 할 때 정말 도움이 많이 됬던 자료 입니다. 수업을 따라가면서 이해 안가는 부분이 있으면 체크 하는 방식도 괜찮으며, 또 수업이 들은지 오래되어 다시 공부하고자 할때 도움이 되는 솔루션입니다..^^ 그리

목차/차례

SOLCpt01 Introduction
SOLCpt02 IntroFab
SOLCpt03E lecMechConcepts
SOLCpt04E lectrostatic
SOLCpt05 Thermal
SOLCpt06 Piezoresistive
SOLCpt07 Piezoelectric
SOLCpt08 Magnetic
SOLCpt09- Summary
SOLCpt10 FabBulk
SOLCpt11- 5FabSurface
SOLCpt12- 5PolymerMEMS
SOLCpt13- 2Fluidic
SOLCpt14-5 SPM

SOLCpt15-4O pticalMirror
SOLCpt16 ProcessIntegration
으로 구성 되어있습니다.
그리고 1장의 한 부분을 발췌하면!(설계 부분에서는 수식이 나오나 여기서 나타내기에는 제한이 있으므로 책과 맞는지 확인하고 받으시길 바랍니다..^^)
Problems
Problem 1: Review
Read the following sections in the paper titled silicon as a mechanical material by Kurt
Petersen: Sections I, II, IV, VI, VIII [10]. The paper can be found in the library or on-line.
Problem 2: Review
Locate the following MEMS-specific journals and conference proceedings in your library or online:

(1) Sensors and Actuators (S&A); (2) Proceedings of IEEE Annual International Workshop

on Micro Electro Mechanical Systems (the name was changed to IEEE International Conference
on Micro Electro Mechanica

추천자료

저작권정보

📝 Regist Info

I D : ********
Date :
FileNo : 11070930

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MEMS의 기초 (Foundations of MEMS , Chang Liu) 연습문제 솔루션 (구매자 판매중지)

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(1) Sensors and Actuators (S&A); (2) Proceedings of IEEE Annual International Workshop

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