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자료설명

1. Mechanical properties of thin metal films, 2. Electrical Properties of metallic Thin Film, 3. Hall Effect & Hall 소자를 이용한 반도체 자기 센서, 4. Sputtering, , , , , FileSize : 97K

목차/차례

  1. 1. Mechanical properties of thin metal films„. Electrical Properties of metallic Thin Film…. Hall Effect & Hall 소자를 이용한 반도체 자기 센서†. Sputtering

본문/내용

Thin films의 강도를 결정하는데 여러가지 방법이 있다. High speed rotor test,bulge test,microtensile testing machine,전자현미경에서 사용하는 설비도 여기에 포함된다. 준비단계에서 문제가 발생하는데,thick film을 사용하면 많은 test machines,techniques이 쉽게 사용될 수 있으므로 시편의 mechanical property testing이 쉽다. 그러므로 thick film에서 측정된 기계적 성질의 스펙트럼이 thin film을 사용할 때보다 더 넓다.



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I D : camp*****
Date : 2009-08-24
FileNo : 10954876

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