[신소재공학] 면저항 실험 결과 보고서

면저항 결과 보고서

1. 목적

면저항의 개념을 알고, 직접 면저항을 측정해 봄으로써 면저항을 측정하는 이유와 면저항을 줄일 수 있는 방법을 연구한다.

2. 실험이론

1) 면저항(ohm/sq = Ω/sq =sheet resistance)

두께가 일정할 경우 단위면적당 저항이다.
식으로 같은 물질의 경우 면저항은 같기 때 문에 가로, 세로의 값이 같을 경우 넓이에 상관없이 같은 저항을 가진다. 그러므로 면저항 로 볼 수 있고 저항 R과 구분되기 위해 Rs로 나타내어 준다. 단위는 저항의 단위와 같은 s로 나타내어진다. 면저항을 측정하는 방법에는 VanderPauW`s방법과 4-point probe방법이 있다.

2) 4-point probe 방법

면저항을 측정하는 방법 중 가장 많이 쓰이는 방법으로 탐침이 4개가 달린 표면저항 측정용으로 사용하는 probe를 말한다. 보통은 1mm 간격으로 일렬로 탐침을 정렬 시킨 것을 이용하고 이 외에 탐침을 정방향으로 나열시킨 스퀘어 타입의 홀 프로브와 고온까지 견딜 수 있도록 특수 제작된 고온용 프로브가 있다. 옆의 그림에서 보듯이 좌우측 가장자리 탐침에 전류를 걸어주고 중간 두 탐침…(생략)

3) Van der PauW`s 방법

4) 비저항(ohm⋅cm)

5) 금속박막두께측정

6) 보정계수(Correction Factor)

C.F = cf1 cf2 cf3

4.532 = 4.532 1 1

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