고진공펌프와 배기계.

터빈 날개 한단의 흡기측①으로 배기측②에 흐르는 배기량은,
n1H = n1M12 – n2M21 (3.1)
이다6). 여기서, H는 입사 유량에 대한 실제 유량의 비이며 Ho계수라 부른다. n1,n2 는 흡기측와 배기측의 날개렬에
입사하는 단위시간당의 분자수다. 비 n1/n2는 압력비 P1/ P2와 같으므로 (3.1)식은

H = M12 – (P2/ P1) M21 (3..2)
K = (P2/ P1) = (M12/ M21) – (H/ M21) (3.3)
위 단단 날개의 수치를 사용하여 실제의 다단 분자펌프를 평가한다. n단의 날개 전체의 최대압축비 Kmaxx는,
Kmax = Kn (3.4)
여기서, K는 압축비이며, K = 1의 때 최대의 Ho가 되며, H = 0인 때 최대의 압축비가 된다.
날개 양측의 가스통과확률 M12 , M21을 날개의 각도(Φ)와 간격(s/b) 그리고 회전속도 또는 그의 분자속도와의 비 등을
변화하면서 몬테카를로 방법으로 구하여 H 및 K를 얻는다(그림3.4와 그림3.5).
날개속도가 작은 동안은 날개속도가 커 갈수록 최대Ho계수도 단순히 커지며 통상 터보 분자펌프도 이 영역에서 사용
한다. 전단(흡기측)에서는 배…(생략)