리니어 모터(Linear Motor)의 원리, 종류 및 응용

상기의 리니어 모터는 전부 1축의 모션을 전제로 한 것으로, 2축 또는 그 이상의 모션을 위해서는 이러한 리니어 모터 여러 개를 기계적으로 결합하여 사용하여야만 한다. 이러한 구조적인 한계를 극복하기 위하여 현재, 가장 일반적인 형태의 X-Y Gantry 시스템에 동시에 동일 평면상에서 2축 모션이 가능한 평면형 모터가 개발되어 사용되고 있다.
일본의 Y사가 개발한 평면형 리니어 모터는 기본적으로는 영구자석을 사용한 하이브리드 방식의 LPM 형태이다. 절대적인 위치검출을 위하여 레이저 간섭계를 사용하고 있고, 고정자는 격자형 치구조의 자성체를, 이동자는 영구자석과 코일을 가진 구조를 띠고 있다. 또한, 고정자와 이동자의 상대적인 공극을 유지하기 위해 에어 베어링 방법을 채택하여 지지하고 있다. 이 시스템에서 XY 평면분할 정밀도는 ±1μm이고 반복 정밀도가 ±0.1μm이다.