Compare SEM and AFM

광학현미경은 가시광선을 사용하여 상을 형성하기 때문에 1000배정도의 배율과 0.2 micrometers 정도의 분해능의 한계이다. 1930년대 초기에 이미 광학현미경은 이러한 한계에 직면하였다. 한편 10,000배 이상의 배율이 필요한 유기물 세포의 내부구조(핵,미토콘드리아등) 를 연구하고자 하는 과학적 필요가 전자현미경을 탄생시키게끔 되었다. 1931년에 독일 과학자 Max Knoll 과 Ernst Ruska가 광학현미경과 같은 형태의 현미경에서 가시광선대신에 전자비임을 사용한 첫번째 투과전자현미경(TEM)을 사용한 것이 효시이다. 주사전자현미경(SEM)은 전자비임을 시료의 표면 한점에 촛점을 맞추어 보고자 하는 시료영역에 걸쳐 `scan` 을 하여야 하기때문에 전자회로기술의 발전이 늦어 1942년에 시도되었으며 1965년에야 첫번째 상업용 기기가 시판되었다.
(2)전자 현미경의 원리
전자현미경은 전자렌즈 자계로서 제1집속렌즈(condenser lens), 제2집속렌즈, 대물렌즈 (objective lens) 3단 렌즈로 되어 있고 시료는 대물렌즈 외부에 놓이도록 구성되어 있다. 전자총에서 전자빔을 발생시켜 시료표면에 주사하여 시편 표면에서 방출되는 여러 가지 에너지 신호…(생략)

(1)투과전자 현미경 (transmission electron microscope, TEM)