진공펌프의종류및특징

피라니 게이지 피라니 게이지란 저압과 진공 영역을 측정하는데 있어 많이 쓰이는 압력게이지이다. 원리는 기체의 열전도율이 저압하에서는 거의 진공도(잔류기체의 압력)에 비례한다는 것이고, 구조는 필라멘트를 가진 관구의 한쪽 끝을 진공장치에 연결한 것이다. 이 필라멘트에 전류를 흘려서 전기저항을 측정함으로써 온도를 통해 필라멘트에서 상실된 열을 알고, 그 측정값을 통해 간접적으로 진공장치 안의 진공도를 측정한다. 관구에 들어가는 회로는 다음과 같은 휘트스톤 브리지이다. 위의 그림과 같이 휘트스톤 브리지에서 통상 알고자하는 저항대신 고온 필라멘트로 대치하면 튜브 속의 고온의 필라멘트가 압력에 비례하여 기체분자에 의해 열을 뺏겨 저항이 감소된다. 이 저항의 변화가 검류계 A에 전류로 나타나고 가변저항 R3를 조절하여 검류계 A에 흐르는 전류를 없애면 저항 R4를 구할 수 있다. 하지만 피라니 게이지는 필라멘트의 온도가 기체의 열전도에 의한 분산 뿐만이 아니고 도선에서 상실되는 열이나 주위의 온도조건 등에도 영향을 받기 때문에 자주 교정(較正)을 필요로 하는 어려운 점도 있다. 진 공 펌 프 ☞ 확산 펌프 (D…(생략)